[实用新型]一种硒化装置有效
| 申请号： | 201820926638.1 | 申请日： | 2018-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN208562514U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 叶亚宽;杨立红 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58;H01L31/18;H01L31/0749;B01D5/00 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 许静;黄灿 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 冷凝回收装置 蒸发器 硒化装置 沉积室 本实用新型 回收利用 冷凝回收 硒化反应 尾气 | ||
1.一种硒化装置，其特征在于，包括硒蒸发器、硒沉积室和硒冷凝回收装置，所述硒蒸发器通过第一管路与所述硒沉积室连接，所述硒沉积室通过第二管路与所述硒冷凝回收装置连接，所述硒冷凝回收装置通过第三管路与所述硒蒸发器连接。
2.如权利要求1所述的硒化装置，其特征在于，所述硒冷凝回收装置包括多个串联设置的冷凝器，每一所述冷凝器的输出端连接至所述第三管路。
3.如权利要求2所述的硒化装置，其特征在于，所述冷凝器包括壳体和设置在所述壳体内的多级交错设置的换热隔板，所述壳体和所述换热隔板围成气态硒流动的气流通道。
4.如权利要求2或3所述的硒化装置，其特征在于，所述冷凝器上设置有调节所述冷凝器温度的温控组件。
5.如权利要求4所述的硒化装置，其特征在于，所述冷凝器上设置有检测所述冷凝器的温度的温度传感器。
6.如权利要求2或3所述的硒化装置，其特征在于，所述冷凝器由石墨或钛制成。
7.如权利要求1所述的硒化装置，其特征在于，所述第三管路外侧设置有保温组件和/或加热所述第三管路的加热组件。
8.如权利要求1所述的硒化装置，其特征在于，所述硒化装置还包括回收阀门，所述回收阀门设置于所述硒冷凝回收装置与所述第三管路之间。
9.如权利要求1或8所述的硒化装置，其特征在于，所述硒化装置还包括控制阀门，所述控制阀门设置于所述硒蒸发器和所述第三管路之间。
10.如权利要求1所述的硒化装置，其特征在于，所述硒化装置还包括尾气处理装置，所述尾气处理装置与所述冷凝回收装置相连。
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