[实用新型]一种低浓度标准气体的配气装置

权利要求书

1.一种低浓度标准气体的配气装置，其特征在于，包括气体发生组件(1)和稀释配气组件，气体发生组件包括通过气路连通的主气室(11)、第一气泵(12)、气源室(13)以及在气路中设置的气体传感器(14)，气源室(13)通过第二阀门(16)与主气室(11)连通，形成循环气路；

稀释配气组件包括进气组件(2)和配气组件(3)，进气组件包括通过气路依次连通的过滤器(21)、流量传感器(22)和第二气泵(23)，第二气泵(23)通过第三阀门(24)与主气室(11)连通；

配气组件包括通过气路依次连通的定量气室(31)、配气室(32)和第三气泵(33)，定量气室(31)通过第四阀门(34)与主气室(11)连通。

2.根据权利要求1所述的低浓度标准气体的配气装置，其特征在于，定量气室(31)与配气室(32)之间通过第六阀门(36)连通，第六阀门为三通阀门，其另一端口连通有第四气泵(38)。

3.根据权利要求1所述的低浓度标准气体的配气装置，其特征在于，主气室(11)为气袋、可改变气室体积的鱼泡或风箱结构的容器。

4.根据权利要求1所述的低浓度标准气体的配气装置，其特征在于，气源室(13)设置在恒温箱内，恒温箱的设定温度低于主气室(11)温度。