[实用新型]一种微动台、工件台和光刻装置

说明书

本实用新型实施例提供了一种微动台、工件台和光刻装置，其中微动台包括微动盘，设置于微动盘一侧的电机，以及冷却装置；冷却装置包括至少一个水冷管，水冷管设置于微动盘上。本实用新型实施例实现了对微动盘散热，使微动盘满足其升温指标，提高微动台的定位精度。

技术领域

本实用新型涉及光刻机领域，尤其涉及一种微动台、工件台和光刻装置。

背景技术

在半导体光刻设备中，工件台精密运动装置是极为重要的分系统，其定位精度直接影响光刻设备的性能。工件台精密定位通常采用粗动台和微动台结合的方式，由粗动台进行粗定位，由微动台最终完成精密定位。

为了实现微动台的运动性能，微动台包括多个电机驱动微动台垂向或旋转运动，但是电机工作会产生热量使微动盘升温，当微动盘升温超出其升温指标时，微动盘产生的形变将影响微动台的定位精度，导致光刻机的性能降低。

实用新型内容

本实用新型提供了一种微动台、工件台和光刻装置，以实现对微动盘散热，使微动盘满足其升温指标，提高微动台的定位精度。

第一方面，本实用新型实施例提供了一种微动台，包括微动盘，设置于所述微动盘一侧的电机，以及冷却装置；

所述微动盘为铝合金微动盘；

所述冷却装置包括至少一个水冷管，所述水冷管设置于所述微动盘上。

可选的，所述冷却装置还包括分水块和供水单元，所述分水块包括一个进水口、至少一个进水输出口、一个回水口和至少一个回水输入口；

每一个所述水冷管的输入端均与所述分水块的一个进水输出口连接；每一个所述水冷管的输出端均与所述分水块的一个回水输入口连接；所述分水块的进水口与所述供水单元的供水口连接，所述分水块的回水口与所述供水单元的回水口连接。

可选的，所述冷却装置还包括水冷板接头和快拧接头；

所述水冷板接头设置于所述微动盘上，所述水冷板接头的一端与所述水冷管的输入端或输出端连接，所述水冷板接头的另一端与所述快拧接头连接；

每一个所述水冷管的输入端均通过一个所述水冷板接头和一个所述快拧接头与所述分水块的一个进水输出口连接；每一个所述水冷管的输出端均通过一个所述水冷板接头和一个所述快拧接头与所述分水块的一个回水输入口连接。

可选的，所述冷却装置还包括开关球阀；

所述开关球阀设置于每一个所述水冷管的输入端和与其连接的所述分水块的进水输出口之间，用于控制所述水冷管的冷却水输入量，以及设置于每一个所述水冷管的输出端和与其连接的所述分水块的回水输入口之间，用于控制所述水冷管的冷却回水输出量。

可选的，所述冷却装置还包括流量计；

所述流量计设置于每一个所述水冷管的输入端和与其连接的所述分水块的进水输出口之间，用于检测所述水冷管的冷却水输入量，以及设置于每一个所述水冷管的输出端和与其连接的所述分水块的回水输入口之间，用于检测所述水冷管的冷却回水输出量。

可选的，所述水冷管设置于所述微动盘与所述电机相同的一侧，和/或所述水冷管设置于所述微动盘远离所述电机的一侧。

可选的，还包括气浮和多个重力补偿器；

所述气浮和所述重力补偿器均设置于所述微动盘与所述电机相同的一侧，且关于所述微动台重心匹配设置。

可选的，所述微动盘上设置至少一个减重凹槽，所述减重凹槽用于减轻所述微动盘的重量。

可选的，若所述水冷管设置于所述微动盘与所述电机相同的一侧，则所述微动盘上所述气浮、所述重力补偿器、所述电机和所述减重凹槽所占区域之外的其余区域均设置所述水冷管。