[实用新型]一种真空镀膜用加工装置有效
| 申请号： | 201820930351.6 | 申请日： | 2018-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN208414539U | 公开（公告）日： | 2019-01-22 |
| 发明（设计）人： | 史延锋;赵洋;史延库;杨金海 | 申请（专利权）人： | 南京浦阳环保科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 南京禾易知识产权代理有限公司 32320 | 代理人： | 李海霞 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 下端 次转盘 托盘 夹持件 主转盘 本实用新型 加工装置 真空镀膜 次转轴 从动轮 伸缩杆 主动轮 主转轴 电机 固定连接托盘 皮带传动连接 穿过 传动输出端 镀膜过程 固定夹持 真空室壁 上端 不良品 上端面 夹持 转盘 摩擦 外围 | ||
1.一种真空镀膜用加工装置，包括主转轴(1)、主转盘(2)、次转盘(3)和托盘(7)，其特征在于：所述主转轴(1)下端固定连接主转盘(2)，所述主转盘(2)下端固定连接两组次转盘(3)，每组所述次转盘(3)都设有两个，一个固定连接在主转盘(2)下端，另一个固定连接在托盘(7)上端，所述次转盘(3)中间设有伸缩杆(6)，所述次转盘(3)下端外围设有夹持件(4)，所述伸缩杆(6)下端固定连接另一个次转盘(3)，下端的次转盘(3)上设有夹持件(4)，在夹持件(4)之间固定夹持基片(5)，固定在托盘(7)上的转盘(3)下端设有次转轴(12)，所述次转轴(12)下端穿过托盘(7)，所述次转轴(12)末端固定连接从动轮(11)，所述托盘(7)上端面中间固定连接一个电机(8)，所述电机(8)下端传动输出端穿过托盘(7)，传动输出端末端固定连接主动轮(9)，所述主动轮(9)和从动轮(11)之间通过皮带(10)传动连接。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用加工装置，其特征在于：所述次转盘(3)共有两组，次转盘(3)上端设有次转轴(12)，所述次转轴(12)固定连接在主转盘(2)内。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用加工装置，其特征在于：所述伸缩杆(6)由上套杆和下套杆两部分组成，上套杆的下端设有收缩缝(15)，上套杆下端的内壁上设有限位块(16)，下套杆固定连接在上套杆内，下套杆上端外壁上设有限位槽(14)，所述限位槽(14)与限位块(16)滑动连接，在上套杆和下套杆连接处外侧螺纹连接一个紧固旋钮(13)。
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜用加工装置，其特征在于：所述紧固旋钮(13)接口处直径大于或等于上套杆直径，紧固旋钮(13)内壁为倾斜状，所述紧固旋钮(13)末端开口直径小于上套杆直径且大于或等于下套杆直径。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用加工装置，其特征在于：所述主动轮(9)共有两组，两组主动轮(9)通过皮带(10)各连接一个从动轮(11)。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京浦阳环保科技有限公司，未经南京浦阳环保科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201820930351.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
