[实用新型]一种基座门及镀膜机

说明书

本实用新型公开了一种基座门及镀膜机，涉及镀膜技术领域，为解决现有技术中基座门抗震效果差而导致腔室容易漏气的问题而发明。本实用新型一种基座门，包括基座门本体、以及用于支撑所述基座门本体的滚轮组件，还包括连接机构，所述连接机构包括连接件、柔性衬套以及缓冲弹性机构，所述连接件的第一端与所述基座门本体配合连接，所述连接件的第二端与所述滚轮组件连接，所述柔性衬套套设在所述连接件的外侧，所述缓冲弹性机构套设在所述柔性衬套的外侧。

技术领域

本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其涉及一种基座门及镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜的设备。真空镀膜机的工作环境，要求设备腔室的真空度、腔室内的气体含量以及气体种类要求很高，需要控制非常精准。

现有真空镀膜机包括机台和基座门，机台与基座门连接形成腔室，基座门上安装有多个硒罐，基座门的底部连接有滚轮，滚轮安装于地面或其他平台的轨道上。

基座门在移动过程或工作过程中，容易产生震动，而现有基座门的抗震效果差，导致基座门容易产生歪斜，腔室密封性差，容易漏气，真空度降低，膜层的厚度难以控制，影响产品的合格率。

实用新型内容

本实用新型的实施例提供一种基座门及镀膜机，可解决现有技术基座门抗震效果差而导致腔室容易漏气的问题。

为达到上述目的，本实用新型的实施例采用如下技术方案：

一种基座门，包括基座门本体、以及用于支撑所述基座门本体的滚轮组件，还包括连接机构，所述连接机构包括连接件、柔性衬套以及缓冲弹性机构，所述连接件的第一端与所述基座门本体配合连接，所述连接件的第二端与所述滚轮组件连接，所述柔性衬套套设在所述连接件的外侧，所述缓冲弹性机构套设在所述柔性衬套的外侧。

进一步地，所述缓冲弹性机构包括缓冲弹簧和缓冲垫片，所述缓冲弹簧的两端分别与所述滚轮组件、所述基座门本体抵靠，所述缓冲垫片分别与所述基座门本体、所述连接件的第一端抵靠。

进一步地，还包括与所述连接件的第一端螺纹连接的调节件，所述调节件用于将所述缓冲垫片与所述基座门本体压紧。

进一步地，所述缓冲垫片有多个，多个所述缓冲垫片沿所述连接件的轴向叠置，多个所述缓冲垫片沿所述连接件的轴向叠置，多个所述缓冲垫片中靠近所述连接件的第一端的一个与所述调节件抵靠，多个所述缓冲垫片中远离所述连接件的第一端的一个与所述基座门本体的上表面抵靠。

进一步地，多个所述缓冲垫片中靠近所述调节件的部分为平垫，多个所述缓冲垫片中靠近所述基座门本体的部分为锥形垫片；或多个所述缓冲垫片中靠近所述调节件的部分为锥形垫片，多个所述缓冲垫片中靠近所述基座门本体的部分为平垫。

进一步地，多个所述缓冲垫片均为锥形垫片。

进一步地，所述基座门本体开设有阶梯孔，所述柔性衬套的上端端面与所述调节件抵靠，所述柔性衬套的下端安装于所述阶梯孔内。

进一步地，所述滚轮组件与所述基座门本体之间设有多个所述连接机构。

进一步地，所述滚轮组件包括滚轮支架、以及安装在所述滚轮支架上的滚轮，所述滚轮支架的上表面与所述缓冲弹性机构抵靠。

进一步地，所述连接件为螺杆，所述调节件为与所述螺杆配合的调节螺母。

进一步地，所述缓冲弹簧的弹性系数为1300～1400磅/英寸。

本实用新型实施例还包括一种镀膜机，包括上述技术方案所述的基座门。