[实用新型]基于低浓度氢氟酸的低能耗高温蚀刻

权利要求书

1.基于低浓度氢氟酸的低能耗高温蚀刻，其特征在于，包括回收桶(1)和备料桶(2)；

所述回收桶(1)和备料桶(2)通过一输料管(3)相连接；

所述回收桶(1)内装设有一过滤筒体(4)；所述过滤筒体(4)内装设有一转杆(5)；所述转杆(5)周侧面沿环形方向均布固定连接有吸附板(501)；

所述备料桶(2)内沿环形方向均布装设有电加热管(6)。

2.根据权利要求1所述的基于低浓度氢氟酸的低能耗高温蚀刻，其特征在于，所述备料桶(2)内壁固定装设有一温度传感器(201)。

3.根据权利要求1所述的基于低浓度氢氟酸的低能耗高温蚀刻，其特征在于，所述备料桶(2)周侧壁固定装设有一排料管(202)；所述排料管(202)上安装有一电磁阀(203)。

4.根据权利要求1所述的基于低浓度氢氟酸的低能耗高温蚀刻，其特征在于，所述备料桶(2)上部一表面卡装有一顶座(601)；所述电加热管(6)上部固定连接在顶座(601)的下表面。

5.根据权利要求1所述的基于低浓度氢氟酸的低能耗高温蚀刻，其特征在于，所述输料管(3)上安装有一抽液泵(301)。

6.根据权利要求1所述的基于低浓度氢氟酸的低能耗高温蚀刻，其特征在于，所述过滤筒体(4)上部周侧面沿环形方向均布开设有过滤孔(401)；所述过滤孔(401)内设有过滤网。

7.根据权利要求1所述的基于低浓度氢氟酸的低能耗高温蚀刻，其特征在于，所述回收桶(1)内部底面固定装设有一卡位盘(7)；所述过滤筒体(4)下端端口与卡位盘(7)卡接配合。

8.根据权利要求7所述的基于低浓度氢氟酸的低能耗高温蚀刻，其特征在于，所述卡位盘(7)内竖直穿插有一转轴(701)；所述转轴(701)的上端通过一连接件(8)与转杆(5)的下端相连接；所述转轴(701)的下端贯穿延伸至回收桶(1)下方并连接有一驱动电机(702)。

9.根据权利要求8所述的基于低浓度氢氟酸的低能耗高温蚀刻，其特征在于，所述连接件(8)包括芯柱(801)和连接座(802)；所述芯柱(801)固定连接在转轴(701)的上端面；所述连接座(802)固定连接在转杆(5)的下端面；所述芯柱(801)一端面固定连接有一横截面呈多边形结构的定位柱(8011)；所述连接座(802)一端面开设有一与定位柱(8011)相适配的定位槽(8021)。

10.根据权利要求1所述的基于低浓度氢氟酸的低能耗高温蚀刻，其特征在于，所述过滤筒体(4)上端贯穿延伸至备料桶(2)外部并固定装设有一限位盘(9)；所述限位盘(9)一端面开设有与过滤筒体(4)相配合的进料口(901)。