[实用新型]压电驱动的流体喷射阀

说明书

本实用新型提供了一种压电驱动的流体喷射阀，包括压电驱动机构，相接于压电驱动机构的流体输送机构，及受驱于压电驱动机构的用于将流体喷射出的喷射机构，压电驱动机构包括具有容置腔的壳体，响应于所施加的电压而变长的压电单元，与压电单元耦合的位移放大器，与位移放大器紧固连接的预紧弹性组件，预紧弹性组件包括用于向位移放大器提供恒定预紧力的弹片。本实用新型采用了由形状记忆合金材料制成的弹片，通过弹片提供的恒定预紧力将消除压电单元推力情况下的位移放大器恢复到初始形状，有效地防止了传统的预紧弹性件在弹性范围内应力与应变发生正向变化的问题出现，从而解决了预紧弹性件的预紧力无法保持恒定导致压电驱动的冲程降低的问题。

技术领域

本实用新型属于流体喷射装置的技术领域，更具体地说，是涉及一种压电驱动的流体喷射阀。

背景技术

流体喷射装置是微电子封装中的关键设备之一，它可对流体(焊剂，导电胶，环氧树脂和粘合剂等)进行精确分配，可将理想大小的流体转移到工件(芯片，电子元件等)的合适位置，以实现元器件之间机械或电气的连接，并且由于点胶技术可以构造形成点，线，面及各种图形，被广泛应用于微电子封装中。随着微电子封装技术的发展，集成电路越来越呈现出复杂化和微型化，半导体封装要求具有更小的尺寸，更多的引线，更密的内连线等，导致对点胶技术的要求就越来越高。为了满足微电子封装的要求，点胶技术逐渐由接触式点胶向喷射式(非接触式)点胶转变，该喷射式点胶技术是利用高频振动的撞针驱动流体从喷嘴内高速喷出，其与接触式点胶技术相比，具有反应速度快，胶滴体积小，分配精度高等优点。

目前，喷射式点胶是通过压电驱动的流体喷射阀实现的，压电驱动的流体喷射阀是流体喷射装置的重要组成部分之一，其包括压电驱动机构，流体输送机构，喷射机构等，其中压电驱动机构中一般用到预紧弹性件，如：公布号为CN106166530A，名称为《具有快速释放喷射阀的压电喷射系统》专利中所公开的扁平弹簧元件，在弹性范围内，其应变会随所受应力发生正向变化，即经过一段时间使用后，扁平弹簧元件的预紧力会逐渐减小，预紧力无法保持恒定，导致压电驱动的冲程降低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种压电驱动的流体喷射阀，以解决现有技术中，预紧弹性件的预紧力无法保持恒定导致压电驱动的冲程降低的技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：提供一种压电驱动的流体喷射阀，包括压电驱动机构，相接于所述压电驱动机构的流体输送机构，及受驱于所述压电驱动机构的用于将流体自所述流体输送机构喷射出的喷射机构，所述压电驱动机构包括具有容置腔的壳体，容置于所述容置腔内且响应于所施加的电压而变长的压电单元，容置于所述容置腔内且与所述压电单元耦合的位移放大器，及容置于所述容置腔内且与所述位移放大器紧固连接的预紧弹性组件，所述预紧弹性组件包括用于向所述位移放大器提供恒定预紧力的弹片。

进一步地，所述位移放大器包括与所述壳体紧固连接的固定部，相接于所述固定部的一端且与所述压电单元一端抵顶的支撑部，以及活动连接于所述固定部的另一端且与所述压电单元另一端抵顶的活动部，所述弹片的相对两端分别与所述支撑部和所述活动部紧固连接。

进一步地，所述预紧弹性组件还包括紧固件，所述支撑部和所述活动部分别开设有第一安装孔，所述弹片的厚度为中间窄相对两端宽，且所述弹片的相对两端分别开设有与所述第一安装孔配合的第二安装孔，所述弹片通过所述紧固件的一端穿过所述第二安装孔且旋入所述第一安装孔内分别与所述支撑部和所述活动部紧固连接。

进一步地，所述预紧弹性组件还包括夹设于所述紧固件与所述弹片之间且具有通孔的垫片，所述紧固件依次穿设于所述通孔、所述第二安装孔和所述第一安装孔内。

进一步地，所述弹片的厚度均匀。