[实用新型]车用纳米隔热玻璃的真空镀膜装置

说明书

本实用新型公开了一种车用纳米隔热玻璃的真空镀膜装置，包括真空镀膜室、溅射放电区，溅射放电区位于真空镀膜室中，还包括供氧装置，该供氧装置包括进气管、上进气支管、下进气支管、上出气管以及下出气管，上进气支管的一端与进气管连接，上进气支管的另一端伸入到真空镀膜室中与位于真空镀膜室内的上出气管连接，下进气支管的一端与进气管连接，下进气支管的另一端伸入到真空镀膜室中与位于真空镀膜室内的下出气管连接。本实用新型能够使镀在玻璃上的膜层均匀。

技术领域

本实用新型属于汽车门窗技术领域，具体涉及一种车用纳米隔热玻璃的真空镀膜装置。

背景技术

镀膜玻璃(Coated glass)也称反射玻璃。镀膜玻璃是在玻璃表面涂镀一层或多层金属、合金或金属化合物薄膜，以改变玻璃的光学性能，满足某种特定要求。镀膜玻璃按产品的不同特性，可分为以下几类：热反射玻璃、低辐射玻璃(Low-E)、导电膜玻璃等。

镀膜玻璃的生产方法很多，主要有真空磁控溅射法、真空蒸发法、化学气相沉积法以及溶胶—凝胶法等。磁控溅射镀膜玻璃利用磁控溅射技术可以设计制造多层复杂膜系，可在白色的玻璃基片上镀出多种颜色，膜层的耐腐蚀和耐磨性能较好，是生产和使用最多的产品之一。真空蒸发镀膜玻璃的品种和质量与磁控溅射镀膜玻璃相比均存在一定差距，已逐步被真空溅射法取代。化学气相沉积法是在浮法玻璃生产线上通入反应气体在灼热的玻璃表面分解，均匀地沉积在玻璃表面形成镀膜玻璃。

现有的磁控溅射镀膜方式，在镀膜过程中，膜层不能很好地分布在玻璃上，导致产品的质量差。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种使镀在玻璃上的膜层分布均匀的车用纳米隔热玻璃的真空镀膜装置。

本实用新型解决其技术问题采用的技术方案如下：

车用纳米隔热玻璃的真空镀膜装置，包括真空镀膜室、溅射放电区，溅射放电区位于真空镀膜室中，还包括供氧装置，该供氧装置包括进气管、上进气支管、下进气支管、上出气管以及下出气管，上进气支管的一端与进气管连接，上进气支管的另一端伸入到真空镀膜室中与位于真空镀膜室内的上出气管连接，下进气支管的一端与进气管连接，下进气支管的另一端伸入到真空镀膜室中与位于真空镀膜室内的下出气管连接。

本实用新型的优点为：通过设置供氧装置后，并且供氧装置的出气由上出气管以及下出气管输出，均匀的出气量使得溅射沉积透明导电膜的过程中，沿溅射靶的长度方向厚度均匀，从而在玻璃上形成均匀的膜层。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为上出气管和下出气管的结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型做进一步说明。

如图1所示，本实用新型的车用纳米隔热玻璃的真空镀膜装置，包括真空镀膜室1、溅射放电区2，溅射放电区2位于真空镀膜室1中，需要镀膜的玻璃也安放到真空镀膜室1中，还包括供氧装置，该供氧装置包括进气管3、上进气支管4、下进气支管5、上出气管6以及下出气管7，下面对供氧装置各部件之间的关系进行详细说明：

如图1和图2所示，上进气支管4的壁厚为1～2mm，上进气支管的管径为6～10mm，上进气支管4a的管径优先采用8mm。上进气支管4的一端与进气管3连接，上进气支管4的另一端伸入到真空镀膜室1中与位于真空镀膜室1内的上出气管6连接，所述上出气管6上设有若干第一出气孔6a，任意两个相邻的第一出气孔6a之间的孔距为80～160mm，任意两个相邻的第一出气孔6a之间的孔距优先采用为120mm。第一出气孔6a的孔径为0.4～0.9mm，第一出气孔6a的孔径优先采用0.7mm。