[实用新型]电容式MEMS麦克风

权利要求书

1.电容式MEMS麦克风，包括衬底、振膜、背电极、接线组件、刻蚀停止环、振膜支撑环、第一绝缘环和第二绝缘环；其特征在于：所述的衬底、刻蚀停止环、振膜支撑环、第一绝缘环、第二绝缘环依次排列并固定在一起；振膜固定在振膜支撑环上；振膜的两个侧面上均开设有多个环形槽；所有环形槽均与振膜同轴设置；振膜的边缘处开设有通气孔；

所述的背电极与第二绝缘环的内侧壁固定；背电极与振膜间隔设置；背电极包括阻隔绝缘层、导电层和氮化硅钝化保护层；氮化硅钝化保护层由保护环和保护盘组成；保护环与第二绝缘环固定；保护盘的靠近振膜的那侧侧面外凸设置，另一侧侧面内凹设置；

所述的导电层由导电环和导电片组成；所述的导电环及导电片均与保护盘固定；导电环的内径大于或等于导电片的直径；导电片及导电环均与保护盘固定；导电环与振膜的间距大于导电片与振膜的间距；阻隔绝缘层由阻隔绝缘环和阻隔绝缘片组成；阻隔绝缘环与导电环固定；阻隔绝缘片与导电片固定；阻隔绝缘环及导电环均与保护环固定；背电极上开设有多个声孔；所有声孔均贯穿背电极；阻隔绝缘层靠近振膜的侧面上设置有多个防粘着凸块；

所述的接线组件包括第一接线柱和第四接线柱；第一接线柱、第四接线柱与振膜、导电层分别连接。

2.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于：所述振膜、降噪带、降噪环及导电层的材质均为多晶硅；所述阻隔绝缘层及氮化硅钝化保护层的材质均为氮化硅；所述刻蚀停止环、振膜支撑环、第一绝缘环和第二绝缘环的材质均为二氧化硅。

3.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于：所述衬底的外端面上开设贯穿衬底的背腔。

4.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于：所述振膜的外边缘与第一绝缘环的内侧壁之间设置有降噪带；所述的刻蚀停止环与振膜支撑环之间设置有降噪环；所述的接线组件还包括第二接线柱和第三接线柱；第二接线柱与降噪带连接；第三接线柱与降噪环连接。

5.根据权利要求1所述的电容式MEMS麦克风，其特征在于：所述振膜同一侧面上各环形槽的内径沿振膜中心向边缘的方向依次等差递增。