[实用新型]一种高精度质谱检出限的检测装置

权利要求书

1.一种高精度质谱检出限的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括：待测高精度质谱仪、真空腔室、分子泵、干泵、隔膜泵、微调阀、金属细管、金属毛细管和大气采样阀，其中，所述真空腔室第一端口依次与所述分子泵、所述干泵连接，所述真空腔室第二端口连接有真空计，待测高精度质谱仪与所述真空腔室第三端口密封连接，且待测高精度质谱仪的检测端伸入真空腔室内，所述真空腔室第四端口与大气采样阀的第一端密封连接，所述金属细管位于真空腔室内，其一端与所述真空腔室内的检测端连通，其另一端与所述大气采样阀的第一端内连通，所述大气采样阀的第二端与所述金属毛细管连通，所述大气采样阀的第三端与所述微调阀的进气口连通，所述微调阀的出气口与所述隔膜泵连通。

2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述真空腔室四个端口与所述分子泵、所述大气采样阀、所述真空计以及所述高精度质谱仪的连接均采用无氧铜全金属密封。

3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述高精度质谱仪的检测端包括：离子源、质量分析器和检测器，其中，所述离子源为封闭式离子源，所述封闭式离子源与所述金属细管连通；所述检测器底部为开放式结构，用于与所述真空腔室连通。

4.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述金属细管为内径为1毫米、长度为100毫米的金属细管，用于将采样气体引入高精度质谱仪的检测端。

5.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述金属细管与所述大气采样阀的第一端通过孔径为10μm的限流小孔连通，所述限流小孔用于检测气体的限流，降低金属细管内的气体压力。

6.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述金属毛细管为内径为150微米，长度为1米的金属毛细管，用于对检测空气进行采集。

7.根据权利要求4或5或6所述的检测装置，其特征在于，所述金属细管和金属毛细管材质为316L不锈钢。

8.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述金属毛细管以及所述大气采样阀外表面具有加热结构，其中，所述加热结构包括：加热器、加热器套以及加热传感器，所述金属毛细管的进气口处具有空气过滤器。

9.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述真空腔室的腔室材料为316L不锈钢，其外表面包裹有加热带。

10.根据权利要求9所述的检测装置，其特征在于，所述真空腔室还留有透视窗口。