[实用新型]一种坩埚加热系统

权利要求书

1.一种坩埚加热系统，其特征在于，该系统包括坩埚、加热部件(2)和抽真空装置(3)，所述加热部件(2)设置在所述坩埚的外周，所述坩埚包括坩埚本体(11)和坩埚盖(21)，所述坩埚盖(21)的顶部设置有吊环(23)，所述坩埚和所述抽真空装置(3)连通，通过所述抽真空装置(3)对所述坩埚抽真空。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述坩埚盖(21)上设置有抽真空孔(22)，所述抽真空装置(3)的抽气口与所述坩埚盖(21)上的抽真空孔(22)连通，以对所述坩埚抽真空。

3.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述坩埚盖(21)和吊环(23)通过吊环支架(24)连接。

4.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述吊环(23)设置于坩埚盖(21)的顶部中间位置。

5.根据权利要求1-4中任意一项所述的系统，其特征在于，所述坩埚盖(21)设置有密封圈(25)，所述密封圈(25)用于密封坩埚本体(11)和坩埚盖(21)的接触面。

6.根据权利要求1-4中任意一项所述的系统，其特征在于，所述抽真空装置(3)为真空泵。

7.根据权利要求1-4中任意一项所述的系统，其特征在于，所述加热部件(2)为加热线圈。

8.根据权利要求1-4中任意一项所述的系统，其特征在于，所述加热部件(2)的外周还设置有保温层(4)。