[实用新型]低压扩散凝结器及真空装置

说明书

本实用新型公开了一种低压扩散凝结器及真空装置，包括壳体、高温气体缓冲镂空板、冷却机构和收集机构，所述壳体内具有冷却腔，壳体上设置有分别连通所述冷却腔的高温进气口和高温出气口，所述高温进气口连通高温进气管，所述高温出气口连通高温出气管；所述高温气体缓冲镂空板位于所述冷却腔内，且将高温进气口与高温出气口隔离；所述冷却机构位于所述壳体内，或者，所述冷却机构位于所述壳体外层；壳体的底部设置有排液孔，所述排液孔连通所述收集机构。

技术领域

本实用新型涉及晶硅太阳电池设备技术领域，尤其涉及一种用于p-n结制造的低压扩散凝结器。

背景技术

传统的常压扩散技术生产出晶硅电池均匀性差、产能低、能耗大，而采用低压扩散技术可以提高晶硅电池的转换效率、降低生产成本，保证硅片扩散的均匀性，提升电池片转换效率，可以放置数量更多的硅片，可成倍提高扩散产能。但现有的低压扩散技术如图1所示没有冷却机构，只是真空泵与高温出气管相连，高温出气管与壳体相连，在低压扩散中真空泵创造真空条件，通过高温气体对硅片进行扩散，在低压扩散时为了维持管内压力平衡，真空泵会进行工作，将管内气体被隔膜真空泵抽出来并带到后续的尾气处理系统，这个过程中过多的偏磷酸等废气存在较强的腐蚀性，会导致真空泵腐蚀以及真空管路堵塞，从而使的真空泵经常维护，影响生产产能，从而大大的降低了设备的生产利用率。

发明内容

本实用新型的目的是为了克服现有技术中的真空泵腐蚀以及真空管路堵塞的不足，提供了一种结构简单、成本低、可有效延长设备维护周期、降低真空泵堵塞以及真空泵管路腐蚀的低压扩散凝结器。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种低压扩散凝结器，包括壳体、高温气体缓冲镂空板、冷却机构和收集机构，所述壳体内具有冷却腔，壳体上设置有分别连通所述冷却腔的高温进气口和高温出气口，所述高温进气口连通高温进气管，所述高温出气口连通高温出气管；所述高温气体缓冲镂空板位于所述冷却腔内，且将高温进气口与高温出气口隔离；所述冷却机构位于所述壳体内，或者，所述冷却机构位于所述壳体外层；壳体的底部设置有排液孔，所述排液孔连通所述收集机构。本实用新型通过冷却机构对高温气体进行冷凝操作，冷凝后的废液通过收集机构进行收集，可以降低高温气体对真空泵的堵塞以及对真空泵管路的腐蚀，能够有效延长设备的维护周期，只需在原有结构上加装冷却机构和收集机构即可，结构简单，成本较低，易于操作。

作为上述方案的一种优选方案，所述冷却机构包括相连接的进液管和出液管，所述进液管和所述出液管设置在壳体的内部或外部，进液管和出液管与所述壳体相贴紧。

作为上述方案的一种优选方案，所述冷却机构位于所述壳体内，所述进液管和所述出液管设置在所述壳体上下部分，或者进液管和出液管设置在壳体的前后部分，或者进液管和出液管环绕壳体设置。

作为上述方案的一种优选方案，所述冷却机构位于所述壳体外层，所述进液管和所述出液管设置在所述壳体上下部分，或者进液管和出液管设置在壳体的前后部分，或者进液管和出液管环绕壳体设置。本方案进水管与出水管相连，进水管流入温度较低的冷却液，吸收冷却腔中的热量，通过出液管排出温度较高的冷却液，结构简单，容易操作，冷却液可以循环使用。

作为上述方案的一种优选方案，所述进液管和所述出液管之间设置有隔热板，本方案隔热板的设置可以减小出液管中冷却液对进液管中冷却液的影响，增强冷却效果。

所述收集机构包括收集管和收集容器，所述收集管与所述收集容器相连接。本方案可以对废液进行收集处理再利用，减少了环境污染。

作为上述方案的一种优选方案，所述的收集管上安装有手动阀。本方案可以通过手动阀调节收集管的开闭，处理废液时不需要停机，可以有效的提高生产产能。