[实用新型]一种晶棒夹具和晶棒切割治具有效
申请号: | 201820957328.6 | 申请日: | 2018-06-21 |
公开(公告)号: | CN208592969U | 公开(公告)日: | 2019-03-12 |
发明(设计)人: | 肖亚东;雷仁贵;谈笑天 | 申请(专利权)人: | 汉能新材料科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/02 | 分类号: | B28D5/02;B28D7/04 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 孟金喆 |
地址: | 101407 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 夹持部 螺栓 螺纹孔 晶棒 本实用新型 夹具本体 晶棒切割 棒夹具 治具 种晶 方向延伸 夹持空间 晶棒夹具 圆柱体形 滑动 切割 损伤 指向 穿过 加工 | ||
本实用新型实施例公开了一种晶棒夹具和晶棒切割治具。其中,该晶棒夹具包括:夹具本体和多个螺栓;其中,夹具本体包括两个相对且间隔的第一夹持部和第二夹持部;第一夹持部设置有多个螺纹孔,多个螺纹孔沿第一夹持部指向第二夹持部的方向延伸;多个螺栓与多个螺纹孔一一对应,螺栓穿过对应的螺纹孔,螺栓与第二夹持部相对的一端,与第二夹持部之间形成晶棒的夹持空间。本实用新型实施例的技术方案可使晶棒不易损伤及滑动,从而可以提高切割精度,以方便将圆柱体形的晶棒加工成特定形状的晶棒。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种晶棒夹具和晶棒切割治具。
背景技术
砷化镓晶体材料、磷化铟晶体材料、锗晶体材料、硅晶体材料等是重要的半导体材料,在光电、无线通讯以及太阳能电池领域有比较广泛的应用。现在的晶体材料通过垂直梯度冷凝法(VGF)等半导体晶体生长技术,生长的晶棒是圆柱体形的。
薄膜太阳能电池所需的衬底一般不为圆形,而是矩形等,为此需要将圆柱体形的晶棒加工成特定形状的晶棒,以作为薄膜太阳能电池所需的衬底。在对晶棒进行切割时,不能直接将待切割的晶棒放置在载物台上,否则晶棒容易滑动将无法切割;若通过设置在载物台上的固定机构固定待切割的晶棒,由于固定机构的夹持力过大,容易使晶棒的表面造成损伤。
实用新型内容
本实用新型实施例提供一种晶棒夹具和晶棒切割治具,使晶棒不易受损及滑动,进而可以提高切割精度,以方便将圆柱体形的晶棒加工成特定形状的晶棒,以作为薄膜太阳能电池所需的衬底。
第一方面,本实用新型实施例提供了一种晶棒夹具,包括:夹具本体和多个螺栓;
其中,夹具本体包括两个相对且间隔的第一夹持部和第二夹持部;
第一夹持部设置有多个螺纹孔,多个螺纹孔沿第一夹持部指向第二夹持部的方向延伸;
多个螺栓与多个螺纹孔一一对应,螺栓穿过对应的螺纹孔,螺栓与第二夹持部相对的一端,与第二夹持部之间形成晶棒的夹持空间。
进一步地,还包括:第一平板,用于设置在夹持空间的第二夹持部与待夹持晶棒之间。
进一步地,还包括:粘结层,设置在第一平板面向第一夹持部的表面上,用于粘结待夹持晶棒。
进一步地,粘结层为双面胶纸、石蜡层或环氧树脂层。
进一步地,还包括:第二平板,用于设置在夹持空间的螺栓与待夹持晶棒之间。
进一步地,第一平板为石墨平板、聚氯乙烯平板或聚丙烯平板;第二平板为石墨平板、聚氯乙烯平板或聚丙烯平板。
进一步地,夹具本体还包括支撑部,位于第一夹持部和第二夹持部之间,且与第一夹持部和第二夹持部连接。
进一步地,夹具本体还包括引出部,与支撑部连接,位于夹持空间的外侧。
进一步地,夹具本体的材质为不锈钢;螺栓的材质为不锈钢、聚氯乙烯或聚丙烯。
第二方面,本实用新型实施例还提供了一种晶棒切割治具,包括载物台、切割刀锯、驱动机构、固定机构和本实用新型任意实施例提供的晶棒夹具,固定机构设置在载物台上,晶棒夹具与固定机构为可拆卸连接,载物台与驱动机构连接,驱动机构用于驱动载物台移动,以调整晶棒被切割刀锯切割的位置。
本实用新型实施例的技术方案通过晶棒夹具夹持晶棒,其中,晶棒夹具包括夹具本体和多个螺栓,夹具本体包括两个相对且间隔的第一夹持部和第二夹持部,第一夹持部设置有多个螺纹孔,多个螺纹孔沿第一夹持部指向第二夹持部的方向延伸;多个螺栓与多个螺纹孔一一对应,螺栓穿过对应的螺纹孔,螺栓与第二夹持部相对的一端,与第二夹持部之间形成晶棒的夹持空间,使晶棒不易受损及滑动,从而可以提高切割精度,以方便通过切割刀锯将晶棒切割成特定形状。
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