[实用新型]硅片烧结炉气体抽排装置有效
申请号: | 201820962683.2 | 申请日: | 2018-06-20 |
公开(公告)号: | CN208349863U | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 冯春亮 | 申请(专利权)人: | 江苏格林保尔光伏有限公司 |
主分类号: | F27D17/00 | 分类号: | F27D17/00 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙) 32258 | 代理人: | 张云 |
地址: | 213161 江苏省常*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 烧结炉 吸风罩 烘干炉腔 气体抽排装置 硅片烧结炉 有机废气 溢出 本实用新型 抽风机 腔内 吸力 开口朝下 出风管 吸风管 附着 内壁 腔壁 伸入 吸除 油污 左端 着火 穿过 扩散 贯穿 | ||
1.一种硅片烧结炉气体抽排装置,所述烧结炉包括用以输送硅片的输送线(1)、烘干炉腔(2)及烧结炉腔(3),所述输送线(1)依次经过烘干炉腔(2)及烧结炉腔(3),所述烘干炉腔(2)顶部的两端分别设有废气燃烧塔(4)和热气供应室(5),其特征在于:该气体抽排装置包括抽风机(6)、开口朝下的吸风罩(7)、吸风管(8)及出风管(9),所述吸风罩(7)设于烘干炉腔(2)和烧结炉腔(3)之间,所述输送线(1)位于吸风罩(7)的下方,所述烧结炉腔(3)上靠近吸风罩(7)的一侧腔壁上贯穿有缺口(3-1),所述吸风罩(7)的左端穿过缺口(3-1)位于烧结炉腔(3)内,所述抽风机(6)的吸风口通过吸风管(8)与吸风罩(7)的上端连通,所述出风管(9)与抽风机(6)的出风口连通。
2.根据权利要求1所述的硅片烧结炉气体抽排装置,其特征在于:所述出风管(9)与废气燃烧塔(4)连通。
3.根据权利要求1所述的硅片烧结炉气体抽排装置,其特征在于:所述热气供应室(5)内设置有若干加热管,所述热气供应室(5)的进口通过进气管(10)与鼓风机(11)连通,所述热气供应室(5)的出口通过管道(12)与烘干炉腔(2)连通,所述进气管(10)绕在吸风管(8)的外壁上。
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