[实用新型]一种气体静压主轴回转精度测试平台

说明书

本实用新型公开了一种气体静压主轴回转精度测试平台，所述的测试平台包括支撑架、测试平板、传感器调节组件、编码器调节组件、调心组件、标准球、电机、柔性联轴器等。测试平板通过水平调整件设置在支撑架上，在测试平板上表面分布有凹槽；传感器调节组件设置于凹槽之上，传感器调节组件能够调节传感器横向、纵向位置；待测主轴放置在测试平板中间孔端面上，其主轴上端设置有调心组件，调心组件包括编码器码盘、芯轴等，其上通过螺纹连接有标准球。柔性联轴器能够隔离驱动电机的振动和不同心引入的误差，调心组件具有调节标准球安装偏心、产生分度信号及索引信号的功能。本实用新型能够实现反转法、多步法和多测头法分离标准球的形状误差，得到主轴回转误差。

技术领域

本实用新型属于精密、超精密气体静压主轴回转精度测试领域，具体涉及一种气体静压主轴回转精度测试平台。能够用于不带驱动及编码器的精密、超精密主轴的回转精度测试。

背景技术

精密、超精密气体静压主轴在国防尖端技术、超精密加工装备等领域发挥着不可替代的作用，其回转精度可达亚微米、纳米级。回转精度的精确测量具有重要意义。传统测量回转精度多采用标准球打表法，用于精密、超精密气体主轴测试时标准球的安装偏心和形状误差直接覆盖掉回转误差；采用反转法、多步法的误差分离技术可以分离标准球的形状误差，这些方法要求能对主轴的回转位置准确分度，同时保证标准球或传感器转位后精确对准，实际测试时多依靠主轴自带的编码器产生位置分度信号，结合设计的工装和高精度分度转台实现误差分离。对于不含驱动电机和编码器的气体主轴，这些方法因不能获得分度信号不能实现准确的误差分离。多点法测试可以克服传感器或标准球转位误差引起的测量误差，实现回转精度在线测量，但存在需要多个测量特性一致的位移测头，增加了成本。驱动电机同气体主轴的连接方式直接影响了回转精度的测试精度，为隔离或减小驱动装置自身回转误差和振动对测量精度的影响，目前有多种连接方式。商用的柔性联轴器连接刚度过大很难满足测量精度的要求，名称为”一种拨叉式精密柔性连接驱动机构”的中国专利（专利号：CN201310081642.4），介绍了一种拨叉柔性连接结构，能有效消除驱动电机同主轴之间的连接误差，但结构和装配都很复杂；名称为”一种超精密加工机床分离驱动式主轴系统”的中国专利（专利号：CN201310081642.4）介绍了一种基于平带的柔性拨动机构，同样存在结构和装配复杂的问题。

发明内容

为了克服已有技术中没有驱动装置和编码器的气体静压主轴不能匀速旋转或产生位置脉冲信号，不能分离出标准球圆度误差的不足。本实用新型提供一种气体静压主轴回转精度测试平台，能够用于不带驱动及编码器的精密、超精密主轴的回转精度测试。

本实用新型的技术方案如下：