[实用新型]一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机

权利要求书

1.一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，包括连接机构与限位机构，其特征在于：所述连接机构包括送料机（18），所述送料机（18）一端通过卡合方式设有滑板（4），所述滑板（4）朝向送料机（18）的一端设有卡块（12），且所述送料机（18）侧面设有与卡块（12）相适配的固定槽，所述滑板（4）表面两侧设有挡板b（10），所述挡板b（10）底部相对于卡块（12）侧面通过螺栓连接设有紧固螺栓（13），所述滑板（4）背离卡块（12）的一端设有连接板（11），所述连接板（11）一端相对于滑板（4）内部设有伸缩板（9），所述送料机（18）顶部两侧边缘处设有挡板a（7），所述送料机（18）一侧外部通过螺栓固定有电动机箱（6），所述送料机（18）底部四角设有送料机支架（8），所述连接板（11）一侧设有检选机（1），且所述连接板（11）底部相对于检选机（1）一侧设有工作台（3），所述工作台（3）一侧相对于检选机（1）表面设有按钮（2）。

2.根据权利要求1所述的一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，其特征在于：所述限位机构包括限位输送带（5），所述限位输送带（5）内部通过螺栓连接设有若干个橡胶带（16），且所述限位输送带（5）有若干个橡胶带（16）组合而成，所述橡胶带（16）表面设有一体式结构的限位槽（14），所述橡胶带（16）之间设有连接片（15），所述连接片（15）表面设有一体式结构的螺栓孔（17）。

3.根据权利要求1所述的一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，其特征在于：所述伸缩板（9）的外壁与滑板（4）的内壁相接，所述紧固螺栓（13）共两个，处于滑板（4）的两侧，位置相互对应，且所述紧固螺栓（13）可通过顺时针旋转挤压伸缩板（9）侧面。

4.根据权利要求2所述的一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，其特征在于：所述限位输送带（5）由二十个橡胶带（16）连接而成，且所述橡胶带（16）之间为无缝连接。

5.根据权利要求4所述的一种独立式晶圆检选机进料机构及检选机，其特征在于：所述限位槽（14）的横截面为直径十三英寸的圆形结构，且所述限位槽（14）以三厘米等距离排列在橡胶带（16）表面。