[实用新型]磁控溅射过渡室

权利要求书

1.一种磁控溅射过渡室，设置在放卷室和镀膜装置之间，其特征在于，包括相互连接的预过渡室和真空过渡室，所述预过渡室与所述放卷室相连，所述真空过渡室与所述镀膜装置相连，所述预过渡室和真空过渡室上分别设有织物入口和织物出口，所述预过渡室和真空过渡室均与抽真空设备相连，所述预过渡室和真空过渡室内均设有多个导辊，所述导辊与驱动设备相连，在所述驱动设备的驱动下多个所述导辊均沿相同的方向转动，以将织物由所述织物入口运送至所述织物出口，所述真空过渡室内还设有冷却装置，所述预过渡室内不设冷却装置；所述预过渡室和真空过渡室内还设有多个竖直挡板，多个竖直挡板将所述预过渡室和真空过渡室分成多个腔室，所述竖直挡板上均设有供所述织物通过的通孔；预过渡室内所述通孔水平设置。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射过渡室，其特征在于，所述冷却装置为水冷装置。

3.根据权利要求2所述的磁控溅射过渡室，其特征在于，所述冷却装置设置在所述真空过渡室的底部，所述冷却装置包括多根相互串联的冷却水管，所述冷却水管的入口和出口均与外部制冷装置相连。

4.根据权利要求1所述的磁控溅射过渡室，其特征在于，多个所述导辊中至少包括一个主动辊，所述主动辊与所述驱动设备相连。

5.根据权利要求4所述的磁控溅射过渡室，其特征在于，所述驱动设备为驱动电机。

6.根据权利要求1-5中任一所述的磁控溅射过渡室，其特征在于，由所述放卷室至所述镀膜装置的方向上多个所述腔室中的真空度逐级升高。

7.根据权利要求1所述的磁控溅射过渡室，其特征在于，所述织物入口、织物出口和所述通孔的尺寸均大于所述织物厚度1-5mm。

8.根据权利要求1所述的磁控溅射过渡室，其特征在于，所述通孔水平设置或倾斜设置，相邻的所述通孔的高度不同。

9.根据权利要求8所述的磁控溅射过渡室，其特征在于，位于所述真空过渡室中的所述通孔的上方还设有保护板，所述保护板与所述真空过渡室的侧壁铰接连接，所述保护板的转动可将所述通孔封堵上，在真空状态下，所述保护板水平设置。