[实用新型]有筒体片凸筋的导流筒有效

专利信息
申请号: 201820973849.0 申请日: 2018-06-25
公开(公告)号: CN208362523U 公开(公告)日: 2019-01-11
发明(设计)人: 申富强;申富胜 申请(专利权)人: 上海骐杰碳素材料有限公司
主分类号: C30B15/00 分类号: C30B15/00;C30B29/06
代理公司: 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 代理人: 胡晶
地址: 200241 上海市金山*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 筒体 导流筒 筒体部 凹部 连接柱 上环部 凸部 凸筋 下环 本实用新型 材料加工 插入连接 交货周期 依序连接 圆形孔 胚体 热场 剥落 申请 制作 应用 生产
【说明书】:

实用新型涉及一种有筒体片凸筋的导流筒,应用于热场,导流筒包括上环部、筒体部、N个中环箍和下环部,N为大于等于0的整数;N为0时,上环部、筒体部和下环部依序连接;筒体部包括M个第一筒体片、R个第二筒体片、S个第三筒体片和若干个连接柱,M为大于0的整数,R和S均为大于等于0的整数,M个第一筒体片、R个第二筒体片和S个第三筒体片连接形成导流筒的筒体部;第一筒体片的两侧为凹部;第二筒体片的两侧,一为凹部,另一为凸部;第三筒体片的两侧为凸部;凹部和凹部连接形成的圆形孔中,插入连接一连接柱。本申请质量轻、强度高、无剥落、安全性高;不需要制作胚体,批量生产缩短交货周期,材料加工浪费少。

技术领域

本实用新型涉及热场零件,具体地说是涉及一种由碳/碳复合材料或石墨材料或耐高温金属材料或陶瓷材料制作、组装的导流筒。

背景技术

在单晶硅的制作中,目前普遍采用直拉法(CZ法),就是沿着垂直方向从熔体中拉制单晶的方法。在现有技术设备中,随着单晶硅生长的晶体直径越来越粗,相应的单晶炉的直径也越做越大,这样对热场的可靠性和安全性也要求越来越高;单晶硅拉制炉的热场系统,对单晶硅的整棒率及成品率、拉速、单晶硅棒质量影响很大,因此,热场系统设计和热场内关键元件的选材和使用备受关注。

在太阳能直拉单晶炉中有一个导流筒,也叫热屏,是用石墨或者碳/碳材料制作的,这个装置的主要作用是隔绝硅棒与热源的热量,以便形成温度梯度提高晶体生长速度,让硅由半熔界面形成结晶,提拉成硅棒;对高温硅熔体起保温作用,节约能源。

现有技术中,单晶硅拉制炉导流筒普遍由石墨件和碳毡组合制成,一种作法是用整块的石墨经过机加工制成整体的导流筒,用这种方法制造的导流筒不仅重量大,而且强度也不高,不利于工人操作方便性,而且经常由于强度不高,导致开裂或掉入坩埚中,造成无法拉晶,损失严重。还有的是,用石墨加工出内屏和外屏,将碳毡填充在内屏和外屏中间,再通过紧固件将三者组合在一起。从效果来看,这种导流筒存在以下不足:一是石墨是热的良导体,保温效果较差;二是石墨强度低,使用过程中易损坏,使用寿命短;三是大尺寸石墨内、外屏成形困难,耗材较多。

随着单晶生产的技术进步,单晶炉的尺寸越来越大,对导流筒的直径和其他尺寸,也要求尺寸变得越来越大。这样,石墨材质的强度已经不能满足新型单晶炉的设计要求,同时用整块石墨料制造导流筒的成本也非常高,尤其是尺寸越大,石墨本身的原料成本就高,如果用整块石墨原料加工,其成本将会变得非常高。

由于大尺寸单晶炉的迅速发展,石墨材质的导流筒无论在成本上还是强度安全性上都明显表现的毫无优势,此时,碳碳导流筒筒应运而生。但由于碳/碳材质本身的制造方法限制,造成其成本居高不下,这是因为传统碳碳导流筒的制造方法是采用预制体在气相沉积炉中利用烷类气体裂解产生的游离碳沉积,或有用液相沉积的方法来制成的,这些过程的生产周期非常长,成本非常高,而且交货速度非常慢,无法满足现在单晶市场的需求,常常出现交货期无法满足需求或由于成本过高而不被选择。

因此,现有技术的导流筒还有提升的地方。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种能够有效降低成本的方法,这种方法采用快速组合的方式来生产导流筒,把导流筒拆分成多个零件,先制作零件,再把零件组装起来,以解决现有技术的问题。

为实现上述目的,本实用新型采用了以下的技术方案:

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