[实用新型]用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪

说明书

本实用新型公开了一种用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪。机械爪包括两卡爪组件、传动机构和驱动机构。卡爪组件具有第一夹紧部和第二夹紧部，两卡爪组件的第一夹紧部分别用于夹取第一尺寸晶圆盒的两把手，两第二夹紧部分别用于夹取第二尺寸晶圆盒的两把手。传动机构传动连接于两卡爪组件，驱动机构作用于传动机构，以使两卡爪组件在打开状态和关闭状态之间切换。当两卡爪组件位于打开状态时，两卡爪组件相远离；当两卡爪组件位于关闭状态时，两卡爪组件相靠近，以夹取晶圆盒。该机械手的卡爪组件具有第一夹紧部和第二夹紧部，使得卡爪组件能够夹取多尺寸的晶圆盒，扩大了机械设备的适用范围，有利于提高晶圆片的生产效率。

技术领域

本实用新型涉及半导体领域，特别一种用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪。

背景技术

在半导体行业中，集成电路的加工制造离不开大量晶圆的使用，所用集成电路的设计和加工最终均需要集成在晶圆片上。晶圆片很薄，通常只有零点几个毫米，而且脆性较大，操作上稍有不当将可能直接导致晶片破损报废，另一方面考虑到晶圆片制备过程复杂，价格昂贵，因而晶圆片的制备和运输时的安全性和可靠性一直都是各大半导体行业所关注的重点。晶圆片在制备过程中，需要参与多个不同的工序才能得到最终的成品，而在不同工序之间流转时，其运输和保管都需要用到晶圆盒，起到防尘防碰的作用。晶圆盒一般是由白色透明、韧性较好的材料制成，其外部结构设有晶圆盒把手，以方便对其搬运。

随着自动化程度的提高，通常采用机械爪对晶圆盒搬运以代替传统人工进行作业。因晶圆具有不同的尺寸，如4寸、8寸、12寸和16寸，晶圆盒的尺寸也与之相对应，即4寸、8寸、12寸和16寸晶圆盒。但是，在现有技术中，用来搬运晶圆盒的机械爪通常仅能搬运一种尺寸的晶圆盒，适用范围较窄，容易影响晶圆片的生产效率。

综上，现有技术中用来搬运晶圆盒的机械爪通常具有适用范围较窄、易影响晶圆片的生产效率。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是为了克服现有技术中用来搬运晶圆盒的机械爪通常具有适用范围较窄、易影响晶圆片的生产效率，提供一种用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪。

本实用新型是通过下述技术方案来解决上述技术问题：

一种用于多种尺寸的晶圆盒搬运的机械爪，其特点在于，其包括：

相对设置的两卡爪组件，所述卡爪组件具有第一夹紧部和第二夹紧部，两所述卡爪组件的第一夹紧部分别用于夹取第一尺寸晶圆盒的两把手，两所述卡爪组件的第二夹紧部分别用于夹取第二尺寸晶圆盒的两把手；

传动机构，所述传动机构传动连接于两所述卡爪组件；

驱动机构，所述驱动机构作用于所述传动机构，以使两所述卡爪组件在打开状态和关闭状态之间切换；

其中，当两所述卡爪组件位于打开状态时，两所述卡爪组件相远离；

当两所述卡爪组件位于关闭状态时，两所述卡爪组件相靠近，以夹取所述晶圆盒。

在本方案中，卡爪组件具有第一夹紧部和第二夹紧部，使得卡爪组件能够夹取两种尺寸的晶圆盒，扩大了机械爪的适用范围，有利于提高晶圆片的生产效率。

较佳地，所述卡爪组件具有：

支撑架，所述支撑架的顶部连接于所述传动机构；

两卡爪板，两所述卡爪板相对设置且连接于所述支撑架的底部，每一所述卡爪板具有第一卡槽和第二卡槽，两所述卡爪板的第一卡槽围成所述第一夹紧部，两所述卡爪板的第二卡槽围成所述第二夹紧部；

其中，相对于所述第一卡槽，所述第二卡槽远离所述支撑架。