[实用新型]一种水平电化学沉积金属装置

权利要求书

1.一种水平电化学沉积金属的装置，其特征在于：包括排液槽（20），所述排液槽（20）内设置有用于盛放电解液（60）的电解质槽（10），所述电解质槽（10）的下端连通有输液管道（11），所述排液槽（20）的下端连通有排液管道（21），所述电解质槽（10）的侧面设有用于调节所述电解液（60）液面高度的高度闸（12），所述电解质槽（10）内设置有下电极（70），所述电解质槽（10）的上方设置有用于输送半导体器件（50）的下传送滚轮（30），所述半导体器件（50）上表面整面或多点接触式上电极，所述半导体器件（50）上表面整面或多点接触式的上电极与所述下电极（70）相连。

2.根据权利要求1所述的一种水平电化学沉积金属的装置，所述上电极与所述下电极（70）连接包括以下三种方式，一种是所述上电极与偏压电源（90）的负极相连，所述下电极（70）与所述偏压电源（90）的正极相连；第二种是所述上电极与所述下电极（70）直接相连，所述半导体器件（50）的上方或者下方设置有发光器件（80）；第三种是所述上电极与偏压电源（90）的负极相连，所述半导体器件（50）的上方或者下方设置有所述发光器件（80）。

3.根据权利要求1或2所述的一种水平电化学沉积金属的装置，其特征在于：所述下传送滚轮（30）的上方设置有同步运行的上传送滚轮（43），所述上传送滚轮（43）使用导电材质制作，依次通过导线串联，所述上传送滚轮（43）用于输送取电和导向装置（44），所述半导体器件（50）的上表面设置有导电电极板（46），所述导电电极板（46）的上面连有支撑杆（45）的下端，所述支撑杆

（45）的上端与所述取电和导向装置（44）的下面相连。

4.根据权利要求2所述的一种水平电化学沉积金属的装置，其特征在于：所述半导体器件（50）通过多排导电刷（40）与所述偏压电源（90）电相连，所述导电刷（40）位于所述半导体器件（50）上方，所述导电刷（40）的上端与偏压电源（90）的负极电相连，所述导电刷（40）的下端与所述半导体器件（50）的上表面接触。

5.根据权利要求1所述的一种水平电化学沉积金属的装置，其特征在于：所述下电极（70）的材质为固体金属。