[实用新型]一种充气自清洁式气路管道有效
| 申请号： | 201820981437.1 | 申请日： | 2018-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN208455104U | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 时刚;武海军;刘统青 | 申请（专利权）人： | 西安创联新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;B08B9/032 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710065 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抽气管道 单晶炉室 气路管道 自清洁式 单晶炉 水冷 充气 本实用新型 高压吹气 插板阀 挥发物 保护气体 波动影响 吹扫气体 高纯氩气 电磁阀 进气端 真空炉 吹气 反流 炉压 隔离 室内 保证 污染 | ||
【权利要求书】：
1.一种充气自清洁式气路管道，其特征在于，包括单晶炉水冷抽气管道以及单晶炉室，在单晶炉水冷抽气管道与单晶炉室之间安装有插板阀和高压吹气环，高压吹气环的进气端安装有电磁阀。
2.根据权利要求1所述的充气自清洁式气路管道，其特征在于，所述插板阀处于打开状态，电磁阀关闭，水冷抽气管道畅通正常进行排气；
或关闭插板阀，打开电磁阀，高压高纯氩气通过高压吹气环对水冷抽气管道内壁进行吹扫，通过真空泵把吹扫下的挥发物抽走。
3.根据权利要求1所述的充气自清洁式气路管道，其特征在于，通过所述插板阀隔离单晶炉室与水冷抽气管道。
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