[实用新型]一种蒸镀室检漏装置

说明书

本实用新型公开了一种蒸镀室检漏装置，用以检测蒸镀室是否泄露。其中，蒸镀室检漏装置，包括：至少两个夹具，所述夹具包括腔体，所述腔体用于密封连通蒸镀室；抽气管，分别与所述至少两个夹具的腔体密封连通；氦检仪，与所述抽气管密封连通，用于检测通过所述抽气管传送的所述腔体内的气体。

技术领域

本实用新型涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种蒸镀室检漏装置。

背景技术

真空蒸镀金属薄膜是在真空条件下，将金属蒸镀在薄膜基材的表面形成复合覆膜的一种工艺。通常，在蒸镀室内进行蒸镀工艺。具体地，在蒸镀室中放置金属源以及基片，将蒸镀室抽成真空，蒸镀时利用电阻加热或电子束加热等方式加热金属源使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜。为了提供蒸镀所需的真空条件，必须保证蒸镀室无泄漏。

实用新型内容

本实用新型提供一种蒸镀室检漏装置，用以检测蒸镀室是否泄露。

本实用新型提供一种蒸镀室检漏装置，包括：

至少两个夹具，所述夹具包括腔体，所述腔体用于密封连通蒸镀室；

抽气管，分别与所述至少两个夹具的腔体密封连通；

氦检仪，与所述抽气管密封连通，用于检测通过所述抽气管传送的所述腔体内的气体。

可选的，所述夹具为筒状，所述夹具包括位于所述夹具的开口端部的第一连接部，以及位于筒壁、与所述腔体连通的第二连接部，所述第一连接部用于将所述腔体与蒸镀室密封连通，所述第二连接部用于将所述腔体与所述抽气管密封连通。

可选的，所述第一连接部包括第一密封圈，用于密封所述腔体与所述蒸镀室的连接处。

可选的，所述抽气管为密封的管状，所述抽气管包括第三连接部和至少两个第四连接部，所述第三连接部和至少两个第四连接部位于管壁和/或端部，并与抽气管内部连通；所述第三连接部用于将所述抽气管与所述氦检仪密封连通，所述至少两个第四连接部用于将所述抽气管分别与所述第二连接部密封连通。

可选的，所述抽气管包括位于两个端部中的至少一个端部的端盖。

可选的，所述至少一个端部包括第二密封圈，用于密封所述端盖与端部的连接处。

可选的，所述端盖通过螺钉与所述至少一个端部连接。

可选的，所述第二连接部与所述第四连接部之间，和/或，所述第三连接部与所述氦检仪之间，通过波纹管和管夹密封连通。

可选的，所述第二连接部、所述第四连接部、所述第三连接部中的至少一个包括对焊法兰。

本实用新型的实施例提供的技术方案可以包括以下有益效果：

本实施例中，至少两个夹具的腔体可以分别密封连通待检测的至少两个蒸镀室，氦检仪通过抽气管可将与腔体连通的蒸镀室内部抽成真空，然后从蒸镀室外部喷氦气，如果蒸镀室有泄漏，氦气就会通过蒸镀室的泄漏处进入蒸镀室内部，然后通过抽气管进入氦检仪，从而被氦检仪检测到，用于判断蒸镀室是否泄漏。本实施例提出的检漏装置结构简单、可以方便快捷地检测蒸镀室是否泄露，而且抽气管可以同时连通多个夹具，一次可以检漏多个蒸镀室，提高了检漏效率。

本实用新型的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

下面通过附图和实施例，对本实用新型的技术方案做进一步的详细描述。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：