[实用新型]一种单晶炉分体式油过滤除尘器

说明书

本实用新型提供了一种单晶炉分体式油过滤除尘器，包括上腔体、下腔体以及封盖，所述上腔体设有第二注油口、第二放油口和第二观察口，所述下腔体设有第一注油口、第一放油口、第一观察口以及进气口和可移动的支腿，所述封盖上设有出气口和提拉臂，所述上腔体与下腔体采用锁紧装置锁紧，上腔体与封盖采用锁紧装置锁紧。本实用新型提供了三层过滤结构的除尘器，拥有过滤效果好，使用周期长，维护简单的特点，更好的达到了清洁废气，保护真空泵长期有效运行的目的。

技术领域

本实用新型涉及多晶硅铸锭生产除尘技术领域，具体涉及一种单晶炉分体式油过滤除尘器。

背景技术

提拉法单晶硅生长的原理，在真空的炉室内，使用惰性气体(氩气)保护，采用石墨电阻加热器将多晶硅材料熔化，在特定温区内，通过传动机构带动籽晶旋转提拉运动和硅熔液的逆旋转及上升运动，以实现晶体的生长。在晶体生长的过程中，需要使用真空泵对炉室持续不断的抽空，将炉室内石英及石墨热场件在高温状态时所释放的二氧化硅、氧化硅等杂质及炉室各密封部位微量泄漏的空气及时抽出，已保持炉室内的真空度。当这些杂质及废气不断被抽入真空泵，使得真空泵油更换频繁，成本昂贵，同时真空泵的效率和使用寿命会逐渐降低。

目前大多数单晶生长炉，是在单晶炉抽气管道中，真空泵的入口前端，增加除尘过滤装置，均是在一个密闭的罐体内，设置单层或者多层滤网，这种滤网式除尘器，只能过滤颗粒较大的杂质，对细小的杂质颗粒无法过滤，且滤网必须定期及时的清理，同时清理费时费力。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的主要目的是提供一种单晶炉分体式油过滤除尘器。

本实用新型采用的技术方案是：

一种单晶炉分体式油过滤除尘器，包括上腔体、下腔体以及封盖，所述上腔体设有第二注油口、第二放油口和第二观察口，所述下腔体设有第一注油口、第一放油口、第一观察口以及进气口和可移动的支腿，所述封盖上设有出气口和提拉臂，所述上腔体与下腔体采用锁紧装置锁紧，上腔体与封盖采用锁紧装置锁紧。

进一步地，所述下腔体内部还设有第一导气孔、第一导气罩、第一标尺及第一固定杆，所述上腔体内部还设有第二导气孔、第二导气罩、第二标尺、第二固定杆以及滤网，其中第一导气孔与进气口相通，第二导气孔与下腔体相通。

进一步地，所述第二注油口设置在上腔体上端一侧，第二放油口设置在上腔体下端另一侧，所述第二观察口设置在上腔体中部。

进一步地，所述第一注油口设置在下腔体上端一侧，第一放油口设置在下腔体底部，所述第一观察口设置在下腔体中部，所述进气口设置在下腔体底部。

进一步地，所述第一导气孔设置在下腔体的中部，其上端还设置有第一导气罩，该第一导气罩上设置中第一标尺，以及第一导气罩的顶端设置有第一固定杆。

进一步地，所述第二导气孔设置在上腔体中部，第二导气罩设置在上腔体上端，第二导气罩上设置有第二标尺，以及第二导气罩的顶端设置有第二固定杆。

进一步地，所述出气口处设置有滤网。

本实用新型提供了三层过滤结构的除尘器，拥有过滤效果好，使用周期长，维护简单的特点，更好的达到了清洁废气，保护真空泵长期有效运行的目的。

附图说明

以上所述仅是本实用新型专利方案概述，为了更清楚说明本实用新型的技术手段，以下结合附图与具体实施方式对本实用新型作详细说明。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型的结构原理示意图。

具体实施方式

下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型，在此本实用新型的示意性实施例以及说明用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。