[实用新型]应用于高真空装置的全密封精确定位调节机构

权利要求书

1.应用于高真空装置的全密封精确定位调节机构，其特征在于：它包括：传动轴结构，与装置对接的真空结构，全密封精确定位调节机构的低真空系统，磁耦合机构，定位调节传动系统和支撑系统；具体包括探测器安装接口(1)、传动轴(2)、对接法兰(3)、过渡管(4)、高真空插板阀(5)、观察窗(6)、真空抽口(7)、手动插板阀(8)、抽真空波纹管(9)、缓冲波纹管(10)、前限位器(11)、真空内置支撑轴承(12)、真空泵(13)、滚珠丝杠(14)、平台(15)、真空管道(16)、后限位器(17)、转动齿轮(18)、磁耦合机构(19)、旋转步进电机(20)、信号输出窗(21)、平移步进电机(22)、控制面板(23)、支撑结构(24)、支撑机构固定器(25)、滚轮(26)、传动齿轮(27)、外层耦合磁铁(28)和内层耦合磁铁(29)；

所述的传动轴结构包括：探测器安装接口(1)、传动轴(2)和真空内置支撑轴承(12)三部分，其中探测器安装接口(1)位于传动轴(2)的前端，与传动轴(2)固定连接，传动轴(2)位于真空管道(16)内，真空内置支撑轴承(12)固定在真空管道(16)内壁，传动轴(2)在真空内置支撑轴承(12)的支撑下可以平移和旋转；

所述的与装置对接的真空结构包括：对接法兰(3)、过渡管(4)、高真空插板阀(5)、观察窗(6)、缓冲波纹管(10)、真空管道(16)和信号输出窗(21)，对接法兰(3)位于全密封精确定位调节机构的前端，用于与高真空装置的对接，对接法兰(3)后面连接三个过渡管(4)，第一和第二个过渡管之间安装高真空插板阀(5)，第二和第三个过渡管之间安装观察窗(6)，第三个过渡管后连接缓冲波纹管(10)，缓冲波纹管(10)后连接真空管道(16)，真空管道(16)的后端安装信号输出窗(21)；

所述的全密封精确定位调节机构的低真空系统包括：真空抽口(7)、手动插板阀(8)、抽真空波纹管(9)和真空泵(13)，真空抽口(7)焊接固定在观察窗(6)的下方，手动插板阀(8)与真空抽口(7)连接，抽真空波纹管(9)两端分别连接手动插板阀(8)和真空泵(13)；

所述的磁耦合机构包括：外层耦合磁铁(28)和内层耦合磁铁(29)，外层耦合磁铁(28)套装并固定在真空管道(16)的外壁，内层耦合磁铁(29)套装并固定在传动轴(2)的外壁，内层耦合磁铁(29)的外壁与真空管道(16)的内壁贴合；

所述的定位调节传动系统包括：传动轴(2)、前限位器(11)、滚珠丝杠(14)、平台(15)、后限位器(17)、转动齿轮(18)、磁耦合机构(19)、传动齿轮(27)、旋转步进电机(20)、平移步进电机(22)、控制面板(23)，前限位器(11)和后限位器(17)分别位于平台(15)的两端，其主要作用是对传动轴(2)的行程进行限制，传动齿轮(27)套装并固定在外层耦合磁铁(28)的外壁，旋转步进电机(20)通过传动齿轮(27)可驱动传动轴(2)旋转，滚珠丝杠(14)通过磁耦合机构(19)与传动轴(2)固定在一起，平移步进电机(22)通过滚珠丝杠(14)驱动传动轴(2)平移，控制面板(23)安装在支撑结构(24)上，通过控制面板设置步进电机的步进脉冲信号可精确控制步进电机的行程；

所述的支撑系统包括：支撑结构(24)、支撑机构固定器(25)、滚轮(26)，支撑结构(24)位于平台(15)的下方，支撑机构固定器(25)和滚轮(26)位于支撑结构(24)的下端。