[实用新型]一种用于直拉炉的锥筒水冷设备

说明书

本实用新型提供一种用于直拉炉的锥筒水冷设备，包括锥筒水冷套，所述锥筒水冷套的锥度与直拉炉导流筒的锥度相匹配，所述锥筒水冷套能嵌套于所述直拉炉的导流筒内；所述锥筒水冷套包括外筒以及内筒，所述外筒与所述内筒之间设置有冷却水道；所述锥筒水冷套大端开设有分别与所述冷却水道连通的进水口以及出水口；本实用新型的有益效果是将水冷套嵌套进直拉炉的导流筒内，节省炉内空间，提高冷却效果。

技术领域

本实用新型属于直拉炉附属设备领域，尤其是涉及一种能嵌套于直拉炉导流筒内的锥筒水冷设备。

背景技术

在现有的技术中，用于多晶硅转化成单晶硅生产过程中使用直拉炉，直拉炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。在高温环境下熔融状态的单晶硅的温度较高，需要进行冷却才能进行之后的工序，而直筒型水冷套对炉内空间占用较多，影响冷却效率。

发明内容

本实用新型要解决的问题是提供一种用于直拉炉的锥筒水冷设备，尤其适合将水冷套嵌套进直拉炉的导流筒内，节省炉内空间，提高冷却效果。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案是：一种用于直拉炉的锥筒水冷设备，其特征在于：包括锥筒水冷套，所述锥筒水冷套的锥度与直拉炉导流筒的锥度相匹配，所述锥筒水冷套能嵌套于所述直拉炉的导流筒内；所述锥筒水冷套包括外筒以及内筒，所述外筒与所述内筒之间设置有冷却水道；所述锥筒水冷套大端开设有分别与所述冷却水道连通的进水口以及出水口。

冷却水道的设置方式有多种，可以需要实际要求进行选用。

可以设置多层环形冷却水道，即所述冷却水道包括外层环形水道和内层环形水道，所述内层环形水道被套接于所述外层环形水道内。通过采用双层的水道设置，增强了水道之间的换热效率。能够加强冷却效果。

也可以在所述冷却水套内设置螺旋形水道，通过设置螺旋形水道，能够增大在单位水套长度的水道与单晶棒料的换热面积，提高换热效率。

还包括进水管，以及出水管，所述进水管与所述进水口相连，所述出水管与所述出水口相连。

作为优选地，所述进水管及所述出水管沿所述直拉炉内壁设置。通过以上设置，进出水管不仅起水流导通作用，还起到支撑定位作用，使锥筒水冷套在直拉炉内的安装更为牢固。

作为优选地，还包括设置于所述锥筒水冷套大端的大端端盖以及设置于所述锥筒水冷套小端的小端端盖。通过以上设置，增强了冷却水套的密封性，防止冷却水从外筒和内筒之间可能存在的焊接缝隙中泄漏。

作为优选地，所述内筒的内壁上设置有波纹形凸起。通过以上设置，在有限的空间内进一步增大了冷却水道与单晶棒料的换热面积，增加冷却效率。

作为优选地，所述内筒的内壁上设置有TiO2涂层。通过以上设置，减小单晶硅棒料在提拉过程中与冷却水套内壁的摩擦，使提拉过程更加顺畅，同时避免摩擦引起的单晶硅棒料损坏。

本实用新型具有的优点和积极效果是：由于采用上述技术方案，将水冷套嵌套进直拉炉的导流筒内，节省炉内空间，提高冷却效果。具有结构简单，冷却效率高等优点。

附图说明

图1是本实用新型一实施例的结构示意图

图2是本实用新型一实施例的锥筒水冷套示意图

图3是本实用新型一实施例的锥筒水冷套剖面示意图

图4是本实用新型一实施例的锥筒内筒剖面示意图

图中：

1、进水管 1-1、进水管固定块 1-2、进水管固定钉