[实用新型]基板翘曲检测装置

说明书

本实用新型涉及一种基板翘曲检测装置，其包括：载台，设有工作面，所述载台的工作面上设有用以放置基板的放置区；定位机构，设于所述载台的工作面上，用以定位基板；传感器，用以检测基板的边缘位置；以及控制系统，用以接收所述传感器的检测信号。上述基板翘曲检测装置，控制系统根据接收到的传感器的检测信号，判断基板是否发生了翘曲，发生翘曲的程度是否影响后续的生产制造。若检测出基板的翘曲程度超出了正常翘曲误差的标准，则可将其判定为不合格品。有效避免了阵列基板制造过程中产生碎片的情况，进而避免了因碎片而导致的设备故障。

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，特别是涉及一种基板翘曲检测装置。

背景技术

显示技术领域的阵列基板包括基板、无机层、金属层等。具体的，基板为阵列基板的基础层，然后在基板上依次形成无机层、金属层等。基板在制造或存放过程中容易发生翘曲。由于基板的厚度较小，一些细微的翘曲不易被发现。若将具有翘曲缺陷的基板用于阵列基板的制作中，在形成无机层、金属层时，容易因基板的翘曲缺陷导致形成于基板上的无机层等碎裂，严重的可能导致设备故障。

实用新型内容

基于此，有必要针对基板的翘曲问题，提供一种有效检测基板翘曲度的基板翘曲检测装置。

一种基板翘曲检测装置，包括：

载台，设有工作面，所述载台的工作面上设有用以放置基板的放置区；

定位机构，设于所述载台的工作面上，用以定位基板；

传感器，用以检测基板的边缘位置；

以及控制系统，用以接收所述传感器的检测信号。

上述基板翘曲检测装置，控制系统根据接收到的传感器的检测信号，判断基板是否发生了翘曲，发生翘曲的程度是否影响后续的生产制造。若检测出基板的翘曲程度超出了正常翘曲误差的标准，则可将其判定为不合格品。有效避免了阵列基板制造过程中产生碎片的情况，进而避免了因碎片而导致的设备故障。

在其中一个实施例中，所述载台为大理石载台。

在其中一个实施例中，所述载台的放置区边缘设有凹槽，所述传感器设于所述凹槽内。

在其中一个实施例中，所述传感器设置为四个，分别检测基板的四个拐角处的位置。

在其中一个实施例中，所述传感器为光纤传感器、超声波测距传感器、激光测距传感器或红外线测距传感器。

在其中一个实施例中，所述定位机构包括固定设于所述载台的工作面上的用以定位基板两个相邻侧边的位置的定位件、以及可活动的设于所述载台的工作面上的用以限制基板移动的限位件。

在其中一个实施例中，所述定位件为定位轮，所述限位件为限位轮。

在其中一个实施例中，所述定位机构还包括用以驱动所述限位件移动的驱动组件。

在其中一个实施例中，还包括用以接收所述控制系统的警报信号的报警器。

在其中一个实施例中，还包括用于取放基板的升降顶针。

附图说明

图1为本实用新型一实施例的基板翘曲检测装置的俯视图。

图2为图1所示的基板翘曲检测装置A-A向视图。

图3为无翘曲基板放置在图2所示基板翘曲检测装置上的结构示意图。

图4为翘曲基板放置在图2所示基板翘曲检测装置上的结构示意图。

具体实施方式