[实用新型]一种OF阳离子缓蚀剂加工用原料混合设备

权利要求书

1.一种OF阳离子缓蚀剂加工用原料混合设备，包括壳体(1)，其特征在于，所述壳体(1)的内部固定套接有套管(2)，所述套管(2)的顶部设置有与壳体(1)顶部内侧壁固定连接的喷流板(3)，所述套管(2)的内圈开设有沿其长度方向设置的限位槽(5)，所述限位槽(5)滑动连接有推盘(6)，所述推盘(6)的中间位置螺纹套接有转轴(7)，所述套管(2)的底部内圈活动套接有环形结构的隔板(12)，所述隔板(12)顶部开口处固定套接有与转轴(7)固定套接的第一阻隔机构(15)，所述第一阻隔机构(15)的正上方安装有与套管(2)内圈固定套接的第二阻隔机构(16)，所述第二阻隔机构(16)与第一阻隔机构(15)相互靠近的一侧安装有进料管道(17)，所述推盘(6)开设有喷孔(8)，所述喷孔(8)的底部开口处铰接有盖板(9)，所述盖板(9)的顶部固定连接有堵塞块(10)。

2.根据权利要求1所述的一种OF阳离子缓蚀剂加工用原料混合设备，其特征在于，所述隔板(12)的底部与壳体(1)的底部内侧壁活动套接，所述隔板(12)的内圈焊接有与转轴(7)固定连接的搅拌杆(13)，隔板(12)的侧壁上开设有贯穿隔板(12)的漏液通道(14)。

3.根据权利要求1所述的一种OF阳离子缓蚀剂加工用原料混合设备，其特征在于，所述喷流板(3)的宽度沿喷流板(3)至套管(2)的方向逐渐变宽，喷流板(3)上开设有贯穿喷流板(3)的喷流孔(4)。

4.根据权利要求1所述的一种OF阳离子缓蚀剂加工用原料混合设备，其特征在于，所述限位槽(5)的横截面为圆弧形结构，推盘(6)的外圈焊接有横截面与限位槽(5)的横截面一致的滑块。

5.根据权利要求1所述的一种OF阳离子缓蚀剂加工用原料混合设备，其特征在于，所述堵塞块(10)远离盖板(9)的一端安装有与喷孔(8)固定连接的弹簧(11)，喷孔(8)的横截面为T型结构。

6.根据权利要求1所述的一种OF阳离子缓蚀剂加工用原料混合设备，其特征在于，所述第一阻隔机构(15)包括与转轴(7)活动套接的套环(18)，套环(18)的外圈安装有与套管(2)固定套接的环形结构的固定块(19)，固定块(19)与套环(18)之间焊接有支撑杆(20)，支撑杆(20)的一侧安装有与固定块(19)和套环(18)固定连接的滤网(21)。