[实用新型]激光器性能检测系统

权利要求书

1.一种激光器性能检测系统，其特征在于，包括：

光学耦合平台(10)；

激光器阵列探针夹持装置(20)，设置于所述光学耦合平台(10)，用以夹持被测激光器阵列；

探测器夹持装置(30)，设置于所述光学耦合平台(10)；

探测器(320)，设置于所述探测器夹持装置(30)，所述探测器夹持装置(30)夹持所述探测器(320)移动，用以探测被测激光器阵列的激光光强；

电荷藕合器件成像耦合系统(40)，设置于所述光学耦合平台(10)，所述电荷藕合器件成像耦合系统(40)包括电荷藕合器件图像传感器(410)，所述电荷藕合器件图像传感器(410)与被测激光器阵列设置于同一直线，用以接收被测激光器阵列的激光；以及

测试仪(50)，设置于所述光学耦合平台(10)，所述测试仪(50)与所述激光器阵列探针夹持装置(20)连接，用以驱动被测激光器阵列，所述测试仪(50)与所述探测器夹持装置(30)连接，用以驱动所述探测器(320)。

2.如权利要求1所述的激光器性能检测系统，其特征在于，所述激光器阵列探针夹持装置(20)包括：

激光器阵列探针夹持装置基座(210)；

滑轨模块(220)，设置于所述激光器阵列探针夹持装置基座(210)，所述滑轨模块(220)包括滑轨控制结构(221)以及滑轨(222)，所述滑轨控制结构(221)与所述滑轨(222)连接；

激光器阵列夹持结构(230)，与所述滑轨(222)滑动连接，所述激光器阵列夹持结构(230)包括滑动基板(231)以及夹持台(232)，所述夹持台(232)固定设置于所述滑动基板(231)，所述滑动基板(231)设置有滑动槽(233)，所述滑动槽(233)与所述滑轨(222)滑动设置，用以移动所述激光器阵列夹持结构(230)；

激光器载体(240)，设置于所述夹持台(232)，所述激光器载体(240)设置有粘贴面(241)，所述粘贴面(241)设置有薄膜镀金层电路(242)，所述薄膜镀金层电路(242)与被测激光器阵列的正负极连接；

探针平台(250)，设置于所述滑动基板(231)；

第一探针(260)，设置于所述探针平台(250)，所述第一探针(260)与所述薄膜镀金层电路(242)的正负极连接；以及

第二探针(270)，设置于所述探针平台(250)，所述第二探针(270)与所述薄膜镀金层电路(242)的正负极连接，所述第一探针(260)与所述第二探针(270)间隔设置于所述探针平台(250)。

3.如权利要求2所述的激光器性能检测系统，其特征在于，所述第一探针(260)的连线端与所述测试仪(50)连接，所述第二探针(270)的连线端与所述测试仪(50)连接。

4.如权利要求2所述的激光器性能检测系统，其特征在于，所述探测器夹持装置(30)包括：

三维调整架(310)，用以调整所述探测器(320)在三维方向移动；

旋转调整轴(330)，与所述三维调整架(310)轴承连接，用以微调所述探测器(320)；

摆臂(340)，与所述旋转调整轴(330)连接；

夹持治具(350)，设置于所述摆臂(340)远离所述旋转调整轴(330)的一端，所述夹持治具(350)设置有加电孔(351)；以及

探测器加电座(360)，设置于所述加电孔(351)中，所述探测器加电座(360)设置有探测器孔(361)，用以放置所述探测器(320)。

5.如权利要求4所述的激光器性能检测系统，其特征在于，所述激光器性能检测系统(100)还包括：

暗盒装置(60)，设置于所述光学耦合平台(10)，所述暗盒装置(60)与所述夹持治具(350)相对设置，用以扣合所述探测器(320)避免外部环境光进入。