[实用新型]一种半导体单晶炉热屏升降装置

说明书

本实用新型提供了一种半导体单晶炉热屏升降装置，包括安装座，安装在单晶炉的炉盖上；水冷密封机构，下端部分穿过安装座和炉盖与热屏连接，上端部分安装有升降座；两个升降机构，安装在安装座上并对称位于水冷密封机构两端，包括自下而上安装的齿轮箱、第一联轴器、线性模组以及电磁式刹车组件，两个线性模组的滑块分别与升降座固定连接；驱动机构，与两个升降机构连接，包括安装在单晶炉外的减速电机，该减速电机通过软轴和第二联轴器与齿轮箱连接。本实用新型不仅克服了钨丝软绳与绕线轮升降机构的所有缺陷，而且运行精度高，运动稳定，并且电磁式刹车组件的采用有效防止了线性模组非控制下滑，安全性高，同时也解决了热屏升降不平稳的问题。

技术领域

本实用新型属于升降设备技术领域，具体涉及一种半导体单晶炉热屏升降装置。

背景技术

半导体硅片作为半导体芯片衬底的重要基材之一，市场需求广泛。在单晶生产过程中，单晶炉热场的温度梯度对于单晶生长过程起着至关重要的作用，直接关系到单晶的效率和品质。热屏是单晶炉常用部件，设置在熔体坩埚的上方，在加料时作为加料预热部件对晶料进行预热并利于形成特定的温度梯度。

实际使用过程中，热屏在升降机构的带动下根据需求进行升降，现有技术中是采用一个电机带动三套钨丝软绳与绕线轮，通过软轴连接，进行同步升降，该种升降方式存在如下缺点：(1)钨丝软绳在高温环境下损坏严重；(2)钨丝软绳安装麻烦，经常容易脱离导向槽；(3)受零件加工质量影响密封不好，容易发生真空泄漏。

实用新型内容

本实用新型是为解决上述问题而进行的，提供了一种具有新型结构的半导体单晶炉热屏升降装置。

为了达到上述目的，本实用新型提供的半导体单晶炉热屏升降装置具有如下技术特征：包括安装座，安装在单晶炉的炉盖上；水冷密封机构，下端部分穿过安装座和炉盖与热屏连接，上端部分安装有升降座；两个升降机构，安装在安装座上并对称位于水冷密封机构两端，包括自下而上安装的齿轮箱、第一联轴器、线性模组以及电磁式刹车组件，两个线性模组的滑块分别与升降座固定连接；驱动机构，与两个升降机构连接，包括安装在单晶炉外的减速电机，该减速电机通过软轴和第二联轴器与齿轮箱连接。

优选的，在本实用新型提供的半导体单晶炉热屏升降装置中，水冷密封机构包括贯穿炉盖、安装座以及升降座的双层水冷轴以及密封套接在双层水冷轴外壁上的密封管。双层水冷轴的上端设置有进水口和出水口，下端通过浮动接头设置有接头A和接头B，该接头A和接头B分别与热屏安装。

优选的，在本实用新型提供的半导体单晶炉热屏升降装置中，密封管为金属焊接波纹管，该金属焊接波纹管上端固定安装在升降座的下端面上，下端固定安装在安装座的上端面上，两端均由中心支架密封圈和卡箍密封。

优选的，在本实用新型提供的半导体单晶炉热屏升降装置中，线性模组为直线滑台模组，包括底座、设置在底座的外端的端盖，底端设置在底座内的导轨、通过滑动座安装在导轨上的滑块，底座内安装有与第一联轴器传动连接的丝杆，丝杆上安装有固定在滑动座上的丝杆螺母。

本实用新型中，线性模组的结构不限于此，可根据实际需求选择相应结构和型号即可。

优选的，在本实用新型提供的半导体单晶炉热屏升降装置中，线性模组顶端设置有支架以及安装在支架上的延伸轴，延伸轴上安装有电磁式刹车组件。

优选的，在本实用新型提供的半导体单晶炉热屏升降装置中，电磁式刹车组件包括自下而上安装在延伸轴上的电磁离合器、感应开关、刹车片，电磁离合器、感应开关以及刹车片上设置有罩壳。

优选的，在本实用新型提供的半导体单晶炉热屏升降装置中，升降机构还包括线缆拖链，该线缆拖链一端固定在支架上，另一端固定安装在升降座上。

实用新型的作用与效果

本实用新型提供的半导体单晶炉热屏升降装置具有如下技术效果：