[实用新型]一种旋转紫外曝光机有效
申请号: | 201821002789.4 | 申请日: | 2018-06-27 |
公开(公告)号: | CN208270946U | 公开(公告)日: | 2018-12-21 |
发明(设计)人: | 覃佐波;刘莎莉 | 申请(专利权)人: | 合肥泰沃达智能装备有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人: | 胡剑辉 |
地址: | 230012 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 曝光机 底座横梁 涂布机 曝光 紫外光源发生器 本实用新型 紫外曝光机 防震底座 曝光器 转运台 空腔 加工 表面安装 顶部设置 加工效率 中间设置 兼容性 入射器 掩模板 光源 转运 穿过 | ||
1.一种旋转紫外曝光机,包括转运台(1)、涂布机(2)、曝光机(3),其特征在于:
所述涂布机(2)位于曝光机(3)一侧,转运台(1)依次穿过涂布机(2)、曝光机(3),曝光机(3)顶部设置有紫外光源发生器(33);曝光机(3)中间设置有曝光空腔(34),曝光空腔(34)内设置有旋转曝光器(35),旋转曝光器(35)通过光源入射器(353)连接到紫外光源发生器(33);
所述转运台(1)下表面安装在第一底座横梁(22)、第二底座横梁(32),第一底座横梁(22)设置在涂布机(2)下方的涂布防震底座(21)上;第二底座横梁(32)设置在曝光机(3)下方的曝光防震底座(31)上。
2.根据权利要求1所述的一种旋转紫外曝光机,其特征在于,所述转运台(1)包括气悬浮平台(11)、移动滑轨(12)、移动吸附平台(13),气悬浮平台(11)上表面设置有移动滑轨(12),移动滑轨(12)与移动吸附平台(13)下表面设置的平台滑块配合,移动吸附平台(13)通过平台滑块、移动滑轨(12)安装在气悬浮平台(11)上。
3.根据权利要求2所述的一种旋转紫外曝光机,其特征在于,所述移动吸附平台(13)上设置有吸附通孔。
4.根据权利要求1所述的一种旋转紫外曝光机,其特征在于,所述涂布机(2)下方设置有涂布防震底座(21),涂布防震底座(21)上设置有第一底座横梁(22),第一底座横梁(22)上方固定有气悬浮平台(11);涂布机(2)上方设置有涂料槽(24),涂料槽(24)下方设置有刮涂刀(23)。
5.根据权利要求1所述的一种旋转紫外曝光机,其特征在于,所述曝光机(3)下方设置有曝光防震底座(31),曝光防震底座(31)上设置有第二底座横梁(32),第二底座横梁(32)上方固定有气悬浮平台(11);曝光机(3)顶部设置有紫外光源发生器(33),紫外光源发生器(33)下方的曝光机(3)上设置有曝光空腔(34),曝光空腔(34)顶部的曝光机(3)上设置有光路通孔;紫外光源发生器(33)通过光纤穿过光路通孔连接到旋转曝光器(35)上。
6.根据权利要求5所述的一种旋转紫外曝光机,其特征在于,所述旋转曝光器(35)包括旋转轴(351)、旋转机架(352)、光源入射器(353)、聚焦镜头(354)、旋转机座(355)、反射器(356),曝光空腔(34)底部曝光机(3)上表面设置有旋转机座(355),旋转机座(355)顶部安装有旋转轴(351),旋转机座(355)上方的旋转轴(351)上安装有旋转机架(352);所述旋转轴(351)上方安装有光源入射器(353),光源入射器(353)通过穿过曝光空腔(34)顶部的曝光机(3)上光路通孔的光纤连接到曝光空腔(34);所述旋转机架(352)边缘设置有反射器(356);多个反射器(356)呈圆形矩阵分布在旋转机架(352)上表面。
7.根据权利要求6所述的一种旋转紫外曝光机,其特征在于,所述反射器(356)包括反射镜固定架、反射镜、曝光孔,旋转机架(352)上设置有曝光孔,曝光孔上方设置有反射镜固定架,反射镜固定架内安装有反射镜;反射器(356)通过光纤连接到光源入射器(353)上。
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