[实用新型]一种用于单晶硅加工的硅棒堆放装置

说明书

本实用新型涉及单晶硅棒存放领域，尤其涉及一种用于单晶硅加工的硅棒堆放装置，包含移动部分和堆放部分；所述移动部分包含移动轮、底座、连接板和扶手；所述堆放部分包含防护顶板，所述防护顶板的底部滑动连接托接机构；若干个所述托接机构之间滑动连接，且所述托接机构包含集装机构和底板；所述底板的顶部固定若干个所述集装机构；所述集装机构包含支撑杆；所述支撑杆的顶部固定托板，且所述托板的顶部通过扭簧连接限位板；所述托板与所述限位板的侧部均设有橡胶垫块，且所述限位板的顶部固定滑块。本实用新型不但对硅棒的损害小，同时固定稳定牢固，另外可同时固定多个硅棒，便于对硅棒进行拿取，操作简单便利。

技术领域

本实用新型涉及单晶硅棒存放领域，尤其涉及一种用于单晶硅加工的硅棒堆放装置。

背景技术

单晶硅是硅的单晶体；具有基本完整的点阵结构的晶体，是一种良好的半导材料，可用于制造半导体器件、太阳能电池等；用高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制而成。

单晶硅棒大多为圆柱形结构，加工过程中需要对其进行必要的堆放，如专利号为CN201720265887.6提出的一种单晶硅棒转移设备，在单晶硅棒放入容纳腔后，在限位弹簧的作用下限位板上的抵压部与第二侧壁相配合对单晶硅棒夹持限位。

这种堆放和固定装置只能堆放一层硅棒，使用范围有限，同时在进行硅棒的取出时，由于硅棒为圆柱形，很难下手取出，因此存在很大的局限性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于单晶硅加工的硅棒堆放装置，以解决上述技术问题。

本实用新型为解决上述技术问题，采用以下技术方案来实现：

设计一种用于单晶硅加工的硅棒堆放装置，包含移动部分和堆放部分；所述移动部分包含移动轮，所述移动轮的顶部安装底座，且所述底座的顶部连接有连接板；所述底座的侧部固定扶手；所述堆放部分包含防护顶板，所述防护顶板的底部滑动连接托接机构，且所述托接机构等距设有若干个；若干个所述托接机构之间滑动连接，且所述托接机构包含集装机构和底板；所述底板的顶部固定若干个所述集装机构；所述集装机构包含支撑杆，且所述支撑杆固定于所述底板的顶部；所述支撑杆的顶部固定托板，且所述托板的顶部通过扭簧连接限位板；所述托板与所述限位板的侧部均设有橡胶垫块，且所述限位板的顶部固定滑块。

优选的，所述底座的顶部转动连接有所述连接板，且所述连接板固定于所述托接机构的底部；所述底座与所述连接板之间的旋转角度为0°-360°，为了便于对集装装置进行旋转，便于其进行集装和旋转改变状态。

优选的，所述底板的顶部等距设有若干个所述集装机构，且所述底板的底部中心处固定所述连接板。

优选的，所述托板的截面采用半圆形结构，且所述托板的两侧顶部通过扭簧转动连接两个向内侧凹陷的所述限位板。

优选的，所述托板与所述支撑杆的侧部开设滑槽，且所述滑槽的内部滑动连接有连杆；所述连杆的一端固定活动板，且所述连杆的另一端固定推动板，通过所述活动板的顶起，可实现将内部硅棒顶起，便于硅棒的取出。

优选的，所述活动板的截面采用与所述托板直径相同的半圆形结构，且所述活动板置于所述托板的端部。

优选的，所述集装机构的内部均放置硅棒，且所述硅棒的直径小于所述托板的直径。

本实用新型的有益效果是：

本实用新型可通过托板配合限位板的方式逐层的固定硅棒，不但对硅棒的损害小，同时固定稳定牢固，另外可同时固定多个硅棒，且可实现整体的移动，在取出硅棒使可通过顶起硅棒的一端，便于对硅棒进行拿取，操作简单便利。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的侧面结构示意图；