[实用新型]一种键合线清洗装置

权利要求书

1.一种键合线清洗装置，其特征在于：包括槽体(1)，所述槽体(1)为柱体，所述槽体(1)内沿延伸方向设置有用于通入压缩空气的通气孔(2)，所述槽体(1)上还设置有供通过键合线的过线槽(3)，所述过线槽(3)延伸方向与所述通气孔(2)延伸方向一致，所述过线槽(3)底部通过针孔(4)连接所述通气孔(2)，

清洗键合线时所述槽体(1)浸泡在清洗液中。

2.根据权利要求1所述的一种键合线清洗装置，其特征在于：所述槽体(1)的横断面为圆形，所述槽体(1)为圆柱体或长方体。

3.根据权利要求2所述的一种键合线清洗装置，其特征在于：所述针孔(4)为等间距排列的若干排，且每排中所述针孔(4)等间距排列。

4.根据权利要求1～3任一项所述的一种键合线清洗装置，其特征在于：所述过线槽(3)的横断面为梯形，且所述过线槽(3)的槽底宽度大于槽口宽度。

5.根据权利要求1～3任一项所述的一种键合线清洗装置，其特征在于：所述过线槽(3)的横断面为矩形。

6.根据权利要求4所述的一种键合线清洗装置，其特征在于：所述过线槽(3)侧壁所呈夹角为60度。

7.根据权利要求6所述的一种键合线清洗装置，其特征在于：所述过线槽(3)槽口宽度为与所述针孔(4)直径比例为1：8～1:10，且所述过线槽(3)槽口宽度为8～12mm，所述过线槽(3)槽深为10mm，所述针孔的排间距为4～5mm。

8.根据权利要求7所述的一种键合线清洗装置，其特征在于：所述过线槽(3)槽口宽度为10mm，所述针孔(4)直径为1mm，所述针孔的排间距为4.5mm。

9.根据权利要求5所述的一种键合线清洗装置，其特征在于：所述过线槽(3)宽度与所述针孔(4)直径比例为1:5～1:6，且所述过线槽(3)宽度为3～5mm，所述针孔(4)的排间距为1.5～2.5mm。

10.根据权利要求9所述的一种键合线清洗装置，其特征在于：所述过线槽(3)宽度为3mm，所述针孔(4)直径为0.5mm，所述针孔(4)的排间距为1.5mm。