[实用新型]一种扩膜、测试、分选一体机

说明书

本实用新型属于半导体设备领域，其提供的一种扩膜、测试、分选一体机，至少包括一扩膜单元、一测试单元、一分选单元，其特征在于：所述扩膜单元包括一环形载台，一可升降的真空平台，一真空控制机构，以及一芯粒承载机构，所述真空平台位于环状载台的中心，所述真空控制机构连接于所述真空平台，所述芯片承载机构位于所述环形载台上，所述芯粒承载机构包括一承载芯粒的弹性透气性膜，以及固定该弹性透气性膜的固定环。

技术领域

本实用新型属于半导体设备领域，尤其涉及一种扩膜、测试、分选一体机。

背景技术

在LED制作过程中，芯片经过划裂制程后会进行扩膜、测试、分选。进行每部作业之前需要对芯粒进行倒膜，即更换新的蓝膜，以便能更好的承载芯片。

现有作业中多次倒膜过程存在如下缺陷：1、因扩膜单元及蓝膜特性，存在扩膜歪、扩膜破等异常。 2、因蓝膜有收缩的特性，放置时间过长会收缩，影响作业。3、蓝膜为一次性使用物料，为定期消耗品，不可回收利用，成本较高。4、分选易产生顶针残胶、背缺等异常。

发明内容

为解决上述技术问题，一种一扩膜、一测试、一分选一体机，至少包括一扩膜单元、测试单元、分选单元，其特征在于：所述扩膜单元包括一环形载台，一可升降的真空平台，一真空控制机构，以及一芯粒承载机构，所述真空平台位于环状载台的中心，所述真空控制机构连接于所述真空平台，所述芯片承载机构位于所述环形载台上，所述芯粒承载机构包括一承载芯粒的弹性透气性膜，以及固定该弹性透气性膜的固定环。

优选的，所述测试单元、分选单元分别位于所述扩膜单元的两侧。

优选的，所述扩膜单元、测试单元、分选单元顺次排布。

优选的，所述环形载台上还设置有固定芯粒承载机构的固定构件。

优选的，所述真空平台还包括一驱动机构，所述驱动机构驱动真空平台的升降。

优选的，所述真空控制机构还包括一真空压力表和一报警装置。

优选的，所述固定构件包括电磁铁和/或者螺栓。

优选的，所述扩膜单元构设置于一滑动轨道上。

优选的，所述滑动轨道为“十字形”轨道或者“直线形”轨道。

优选的，所述透气性膜为TPU膜。

本实用新型提供的一种扩膜、测试、分选一体机，可取消使用蓝膜，采用可重复使用的弹性透气性膜承载芯粒，降低成本。其通过一种TPU弹性透气性膜结合铁环承载片源，利用真空平台上升顶起TPU弹性膜对片源进行微扩，从而进行芯粒的测试及分选，减少倒膜作业。

附图说明

图1 为本实用新型之扩膜、测试、分选一体机主视图

图2 为本实用新型之扩膜单元剖视图。

图3 为本实用新型之环形载台、真空平台、透气性膜和固定环之立体图。

附图标注：100：扩膜单元；110：环形载台；120：真空平台；130：真空控制机构；131：真空压力表；132：报警装置；140：驱动机构；150：芯粒承载机构；151：透气性膜；152：固定环；160：固定构件；161：螺栓；162：电磁铁；170：滑动轨道；200：测试单元；300：分选单元。

具体实施方式

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。