[实用新型]硅棒测试装置

说明书

本实用新型提供了一种硅棒测试装置，包括支撑台、测试架、检测组件，测试架包括与支撑台连接的底板、设于底板中部柔性垫，以及设于底板边缘的至少四个挡板，四个挡板分别设于底板的一个边角，底板包括的中部设有安装区域，柔性垫设置于安装区域内。上述硅棒测试装置，检测时，将硅棒放置在底板上端的柔性垫上，然后推送到检测组件的下端进行光致发光测试，其中，因为设置有柔性垫，使硅棒的底端的四周悬置于底板上端，进而使放置好的硅棒的底端与底板之间存在一个间隙，在作业人员在拿放硅棒的过程中，手指位于硅棒与底板之间的间隙之间，避免了压手的问题，同时，通过设置四个挡板，固定硅棒的前后两端，起到固定硅棒的作用。

技术领域

本实用新型涉及检测装置技术领域，特别涉及一种硅棒测试装置。

背景技术

在硅棒的生产加工中，需要对硅棒进行光致发光(Photoluminescence，缩写PL)测试，主要为了了解硅棒表面相关情况，判断硅棒的品质。现主流PL测试的硅棒高度为156-160mm，宽度约156mm。

现有的硅棒测试装置，一般包括支撑台、设置在支撑台上的测试台、设置在支撑台上方的检测组件，测试台通过滑移装置与支撑台连接，现有的测试台由四个直角组成，硅棒的四个角分别放置在四个测试台上，测试的硅棒放入该测试台后，硅棒和测试台边缘有约1mm的间距。

但是，上述硅棒测试装置中的测试台，测试时，测试面朝上，装有滑移装置的支撑台带动测试台进入检测组件的检测区域，测试时间0-1min不等，测试完后测试台回到原位，在人工将硅棒放置在该测试台时，由于测试台前后两直角之间的间距太小，手指容易被轻微夹压住，不利于操作；且测试台的硬度较高，硅棒较重，硅棒放入时有一定的冲击力，容易造成硅棒磕碰磨损；同时，在测试过程中，难免有硅粉甚至小硅块碎落至测试台中，容易对硅块表面造成损伤。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种硅棒测试装置，以解决在将硅棒放置在测试台上容易压手的问题。

一种硅棒测试装置，包括支撑台、与所述支撑台滑动连接的测试架、设于所述支撑台一侧的检测组件，所述测试架包括与所述支撑台连接的底板、设于所述底板中部柔性垫，以及设于所述底板边缘的至少四个挡板，四个所述挡板分别设于所述底板的一个边角，所述底板中部设有安装区域，所述柔性垫设置于所述安装区域内。

相较于现有技术，上述硅棒测试装置，检测时，将硅棒放置在底板上端的柔性垫上，然后推送到检测组件的下端进行光致发光测试，其中，因为设置有柔性垫，使硅棒的底端的四周悬置于底板上端，进而使放置好的硅棒的底端与底板之间存在一个间隙，在作业人员在拿放硅棒的过程中，手指位于硅棒与底板之间的间隙之间，避免了压手的问题，同时，通过设置四个挡板，固定硅棒的前后两端，起到固定硅棒的作用。

进一步地，每一所述挡板的内侧均设有一个缓冲垫。

进一步地，所述检测组件包括与所述支撑台连接的安装架和设于所述安装架上的激光光源、光谱仪、成像器，所述安装架包括与所述支撑台连接的连接板和与所述连接板连接的安装板，所述安装板一端与所述连接板连接，另一端朝向支撑台的中部延伸，且所述安装板与所述支撑台平行，所述激光光源、所述光谱仪以及所述成像器均设于所述安装板上。

进一步地，所述测试架通过一个滑移组件与所述支撑台连接，所述滑移组件包括设于所述底板底端的滚珠丝杠和设于所述支撑台上的直线导轨。

进一步地，所述柔性垫的上端均匀设有多个柔性凸块。

进一步地，所述底板的每一边均设有一个起物缺口。

进一步地，所述支撑台的一侧设有一个到位挡板，所述到位挡板的内侧设有一个橡胶垫。

进一步地，所述到位挡板的高度小于所述底板的高度。

进一步地，所述到位挡板与所述底板对应的一侧设有一个吸盘。