[实用新型]一种液体输送管路系统及外延剥离设备

说明书

本实用新型公开了一种液体输送管路系统及外延剥离设备。液体输送管路系统包括第一三通阀、第二三通阀、第一泵、第二泵、第一加热机构、第二加热机构、第一控制阀、第一循环支管和多阶加热装置；液体输送管路系统具有小流量供液流路、小循环流路和大流量供液流路。本公开的液体输送管路系统通过不同的流路输送或循环液体，可有效避免液体长时间的停滞在管路中的问题，并可灵活地控制液体的温度，满足制造工艺对液体温度的需求。

技术领域

本实用新型涉及流体传输领域，更具体地，涉及一种液体输送管路系统及外延剥离设备。

背景技术

在生产制造领域中常常需要用到特定温度的液体，并且对液体的需求量有着较为严格的要求。现有的液体输送管路通常将泵、加热机构和阀依次串联在管路中，通过泵的转速调节实现控制液体的输出量，并通过阀的开闭来控制液体输出管路的通断。

这种结构的液体输送管路停止输送液体时，阀关闭，加热机构也随之关闭，液体输送管路中的液体将长时间的停滞在管路中。再次输出液体时不但难以满足制造工艺对液体温度的需求，而且由于液体长时间的停滞将导致液体的性能发生改变，直接影响到制造产品的质量。

以光伏行业或半导体行业中使用到液体输送管路为例，这些行业对制程工艺中使用的液体的温度和工艺性能等参数极为敏感。如果液体的温度和/或工艺性能不能达到要求，将直接导致工艺失败。

因此，如何提供一种能够同时满足液体温度和工艺性能要求的液体输送管路成为本领域亟需解决的技术难题。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是提供一种能够同时满足液体温度和工艺性能要求的液体输送管路系统的新技术方案。

根据本实用新型的第一方面，提供了一种液体输送管路系统。

本实用新型的液体输送管路系统包括第一三通阀、第二三通阀、第一泵、第二泵、第一加热机构、第二加热机构、第一控制阀、第一循环支管和多阶加热装置，所述第二三通阀具有用于排出所述液体输送管路系统中的残留液体的废液出口，所述多阶加热装置包括多阶加热机构；其中，

所述第一三通阀的第一出口、所述第一泵、所述第一加热机构、所述第一控制阀和所述第二三通阀的进口通过管路顺次连通，以构成小流量供液流路；

所述第一循环支管的一端连接在所述第一三通阀的第一出口和所述第一泵之间的管路上，所述第一循环支管的另一端连接在所述第一泵和所述第一加热机构之间的管路上，或者，所述第一循环支管的另一端连接在所述第一加热机构和所述第一控制阀之间的管路上，以构成小循环流路；

所述第一三通阀的第二出口、所述第二泵、所述第二加热机构、至少一个所述多阶加热装置和所述第二三通阀的进口通过管路顺次连通，以构成大流量供液流路。

可选地，所述液体输送管路系统还包括冷却机构和第二控制阀；

所述冷却机构和所述第二控制阀均设于所述第一循环支管上。

可选地，所述液体输送管路系统还包括第三控制阀和第四控制阀；其中，

所述第三控制阀设于所述第一泵和所述第一加热机构之间；

所述第四控制阀设于所述第二泵和所述第二加热机构之间。

可选地，所述多阶加热装置还包括第一多阶控制阀和第二多阶控制阀；其中，

所述第一多阶控制阀与所述多阶加热机构串联设置，所述第二多阶控制阀与所述多阶加热机构和所述第一多阶控制阀并联设置。

可选地，所述液体输送管路系统还包括主控制阀，所述主控制阀通过管路与所述第一三通阀的进口相连通。

可选地，所述液体输送管路系统还具有壳体；