[实用新型]一种真空镀膜机的加热腔结构有效
申请号: | 201821022636.6 | 申请日: | 2018-06-29 |
公开(公告)号: | CN208414528U | 公开(公告)日: | 2019-01-22 |
发明(设计)人: | 李游;金学峰;周义飞;陈志龙;莫超超 | 申请(专利权)人: | 爱发科商贸(上海)有限公司 |
主分类号: | C23C14/22 | 分类号: | C23C14/22 |
代理公司: | 上海骁象知识产权代理有限公司 31315 | 代理人: | 赵俊寅 |
地址: | 201101 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热腔 本实用新型 真空镀膜机 第一滑块 螺纹凹槽 安装座 加热灯 转动柱 滑槽 立柱 螺杆 通孔 内螺纹连接 顶部内壁 滑动安装 滑动连接 人力物力 物料加热 照射 体内 移动 | ||
本实用新型公开了一种真空镀膜机的加热腔结构,包括安装座,所述安装座的顶部两侧均固定安装有立柱,两个立柱的顶部固定安装有同一个加热腔本体,加热腔本体的两侧均开设有第一通孔,第一通孔内滑动安装有同一个转动柱,两个转动柱相互靠近的一端均开设有螺纹凹槽,螺纹凹槽内螺纹连接有螺杆,加热腔本体的顶部内壁上开设有第一滑槽,两个螺杆的顶部均固定安装有第一滑块,且两个第一滑块分别与相对应的第一滑槽滑动连接。本实用新型结构简单,操作方便,可以快速方便的对加热灯进行移动,使加热灯的照射面积更大,对加热腔本体内的物料加热更加全面和均匀,减少了人力物力成本,满足了人们的需求。
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,尤其涉及一种真空镀膜机的加热腔结构。
背景技术
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种,主要思路是分成蒸发和溅射两种,现有技术中的真空镀膜机加热时局限性大,导致真空镀膜机加热不均匀,加热效果不佳,导致人力物力需求高等问题,所以不能满足人们的需求。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种真空镀膜机的加热腔结构。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种真空镀膜机的加热腔结构,包括安装座,所述安装座的顶部两侧均固定安装有立柱,两个立柱的顶部固定安装有同一个加热腔本体,加热腔本体的两侧均开设有第一通孔,第一通孔内滑动安装有同一个转动柱,两个转动柱相互靠近的一端均开设有螺纹凹槽,螺纹凹槽内螺纹连接有螺杆,加热腔本体的顶部内壁上开设有第一滑槽,两个螺杆的顶部均固定安装有第一滑块,且两个第一滑块分别与相对应的第一滑槽滑动连接,螺杆的底部固定安装有固定架,固定架的底端固定安装有加热灯,两个转动柱相互远离的一端均延伸至加热腔本体的外侧并固定安装有把手,把手上开设有第二通孔,第二通孔内滑动安装有第一滑动杆,加热腔本体的两侧均开设有卡槽,且两个第一滑动杆相互靠近的一端分别与相对应的卡槽相卡装,把手上开设有位于第二通孔上方的凹槽,凹槽内滑动安装有第二滑动杆,两个第二滑动杆相互靠近的一端均固定安装有第一弹簧,两个第一弹簧相互靠近的一端分别固定安装于相对应的凹槽的一侧内壁上,两个第二滑动杆相互远离的一端和两个第一滑动杆相互远离的一端均固定安装有同一个拉杆。
优选的,所述第一滑动杆的顶部和底部均开设有第二滑槽,第二通孔的顶部内壁和底部内壁上均固定安装有第二滑块,且两个第二滑块分别与相对应的第二滑槽滑动连接。
优选的,位于同一水平轴线上的两个第二滑块相互靠近的一端均固定安装有第二弹簧,两个第二弹簧相互靠近的一端分别固定安装于相对应的第二滑槽的一侧内壁上。
优选的,所述卡槽的数量为多个,且多个卡槽以转动柱为中心环形等距离开设在加热腔本体上。
优选的,两个第一滑块的顶端均嵌装有多个第一滚珠,且多个第一滚珠分别与相对应的第一滑槽滚动连接。
优选的,位于同一竖直轴线上的两个第二滑块相互靠近的一端均嵌装有多个第二滚珠,且多个第二滚珠分别与相对应的第二滑槽滚动连接。
本实用新型的有益效果:
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