[实用新型]一种真空镀膜机的真空室有效

专利信息
申请号: 201821022673.7 申请日: 2018-06-29
公开(公告)号: CN208414529U 公开(公告)日: 2019-01-22
发明(设计)人: 施恩;沈琪;金学峰;周义飞;莫超超 申请(专利权)人: 爱发科商贸(上海)有限公司
主分类号: C23C14/22 分类号: C23C14/22
代理公司: 上海骁象知识产权代理有限公司 31315 代理人: 赵俊寅
地址: 201101 上海市*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 真空箱 安装块 安装腔 滑动杆 本实用新型 真空镀膜机 镀膜机 缓冲腔 真空室 镀膜 对称固定 滑动安装 滑动连接 缓冲保护 两侧内壁 移动过程 转动连接 连接杆 焊接 颠簸 延伸 运输
【说明书】:

本实用新型公开了一种真空镀膜机的真空室,包括镀膜机,所述镀膜机上开设有安装腔,所述安装腔内滑动安装有真空箱,且安装腔的两侧内壁上均对称固定安装有两个安装块,两个安装块靠近真空箱的一端均滑动连接有滑动杆,所述滑动杆远离安装块的一端固定安装在真空箱靠近安装块的一侧上,所述安装块上开设有缓冲腔,所述滑动杆远离真空箱的一端延伸至缓冲腔内,且焊接有连接块,所述连接块的两侧均转动连接有连接杆。本实用新型结构简单,使用方便,镀膜机在运输或者移动过程中受到颠簸时,能够便于产生缓冲保护力对镀膜机上的真空箱进行保护,增加真空箱的实用寿命,满足用户的使用需求。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,尤其涉及一种真空镀膜机的真空室。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,MBE分子束外延,PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

现有技术中,申请号为201721239885.6的专利文件公开了一种真空镀膜机,包括控制组件和真空室,真空室之中设置有用于对真空室进行抽真空处理的抽真空泵、用于往真空室注入金属蒸汽的蒸汽输出口和用于对小型面板进行镀膜处理的旋转镀膜装置,旋转镀膜装置包括放电组件、用于驱动小型面板进行自转的夹持组件和用于驱动夹持组件进行旋转的驱动齿轮,夹持组件与驱动齿轮相啮合,夹持组件设置于放电组件的外围并绕放电组件进行旋转,抽真空泵与控制组件相连接,能够对小型面板的两面进行平衡的镀膜处理,能够避免小型面板出现镀膜不完全或者镀膜不平衡的情况,从而保证了产品的成功率,有利于产品的有效生产,但是真空镀膜机在运输或者移动过程中受到颠簸时,不便于产生缓冲保护力对真空镀膜机上的真空室进行保护,导致真空室容易损坏,不能满足用户的使用需求。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种真空镀膜机的真空室。

为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:

一种真空镀膜机的真空室,包括镀膜机,所述镀膜机上开设有安装腔,所述安装腔内滑动安装有真空箱,且安装腔的两侧内壁上均对称固定安装有两个安装块,两个安装块靠近真空箱的一端均滑动连接有滑动杆,所述滑动杆远离安装块的一端固定安装在真空箱靠近安装块的一侧上,所述安装块上开设有缓冲腔,所述滑动杆远离真空箱的一端延伸至缓冲腔内,且焊接有连接块,所述连接块的两侧均转动连接有连接杆,所述连接杆为倾斜设置,且连接杆远离连接块的一端转动连接有滑动块,所述缓冲腔的两侧内壁上均开设有滑动槽,所述滑动块的一端延伸至滑动槽内并与滑动槽滑动连接,所述滑动块远离连接杆的一端接触有第一弹簧,所述第一弹簧远离连接杆的一端与滑动槽远离缓冲腔的一侧内壁接触,所述缓冲腔远离真空箱的一侧内壁上焊接有压动杆,所述连接块远离真空箱的一侧开设有连接槽,所述压动杆的一端延伸至连接槽内并与连接槽滑动连接,所述压动杆上套设有第二弹簧,所述第二弹簧的两端分别与在连接块的顶侧上和缓冲腔的顶侧内壁接触。

优选的,所述滑动槽的两侧内壁上均开设有限位槽,滑动块的两侧均焊接有限位块,限位块滑动安装在限位槽内。

优选的,所述连接槽的内壁上滚动安装有滚珠,滚珠与压动杆滚动接触。

优选的,所述安装块的底侧开设有滑动孔,滑动孔与缓冲腔相连通,滑动杆滑动安装在滑动孔内。

优选的,所述安装腔的内壁上固定安装有缓冲垫,缓冲垫与真空箱接触。

优选的,所述镀膜机的底部四角位置均焊接有支撑杆,支撑杆的底端转动安装有万向轮。

与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:

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