[实用新型]一种真空镀膜机的坩埚安装机构

说明书

本实用新型公开了一种真空镀膜机的坩埚安装机构，包括真空室，所述真空室的底部设有连接杆，连接杆的顶部固定安装有第一安装座，第一安装座的顶部设有第二安装座，第二安装座的顶部固定安装有坩埚，第二安装座的底部固定安装有两个定位销，第一安装座的顶部开设有两个定位槽，且定位销与对应的定位槽相适配，两个定位槽相互远离的一侧内壁上均开设有第一凹槽，两个定位销相互远离的一侧均开设有第一卡槽，第一凹槽内滑动安装有第一卡销，且第一卡销与对应的第一卡槽相适配，第一凹槽的顶部内壁上开设有第二凹槽，第二凹槽内滑动安装有挡板。本实用新型能够便于对坩埚进行安装，结构简单，操作方便。

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机的坩埚安装机构。

背景技术

现有的真空镀膜机使用时，在装入及卸下装载有待镀工件的载盘时，每一个载盘都需要人工将其取出，放置一侧，再将下一个载盘装入真空镀膜机，经检索，授权公告号为CN101928930B的专利文件公开了真空镀膜机，包括装载腔室、镀膜腔室及卸载腔室，镀膜腔室两端具有入料口及出料口，装载腔室与入料口连接，装载腔室内设装载架、第一驱动机构及传输装置，装载架承载多个水平放置的相互平行排列的载盘，第一驱动机构固定于装载腔室内，第一驱动机构与装载架相连接，并驱动装载架做下降运动，且能够将各载盘对准入料口，传输装置将对准入料口的载盘运入入料口，卸载腔室与出料口连接，卸载腔室内设卸载架及第二驱动机构。卸载架用于将从出料口出来的多个载盘按层水平排列，第二驱动机构固定于卸载腔室内，第二驱动机构与卸载架相连接，并驱动卸载架做上升运动，该发明的真空镀膜机在装载及卸载时均批量进行，可有效减少人力及提高生产效率，但这种设计还存在不足之处，不便于对坩埚进行安装的问题，因此我们提出一种真空镀膜机的坩埚安装机构用于解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种真空镀膜机的坩埚安装机构。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种真空镀膜机的坩埚安装机构，包括真空室，所述真空室的底部设有连接杆，连接杆的顶部固定安装有第一安装座，第一安装座的顶部设有第二安装座，第二安装座的顶部固定安装有坩埚，第二安装座的底部固定安装有两个定位销，第一安装座的顶部开设有两个定位槽，且定位销与对应的定位槽相适配，两个定位槽相互远离的一侧内壁上均开设有第一凹槽，两个定位销相互远离的一侧均开设有第一卡槽，第一凹槽内滑动安装有第一卡销，且第一卡销与对应的第一卡槽相适配，第一凹槽的顶部内壁上开设有第二凹槽，第二凹槽内滑动安装有挡板，挡板的顶部固定安装有第一弹簧的一端，第一弹簧的另一端固定安装在对应的第二凹槽的内壁上，挡板的底部铰接有支撑杆的一端，支撑杆的另一端铰接在第一卡销上，两个第一凹槽相互远离的一侧内壁上均开设有第一孔，第一孔内滑动安装有拉杆，拉杆的一端固定安装在对应的第一卡销上，拉杆的顶部开设有两个第二卡槽，第一孔的顶部内壁上开设有第三凹槽，第三凹槽内滑动安装有第二卡销，且第二卡销与对应的第二卡槽相卡装，第二卡销的顶端固定安装有第二弹簧的一端，第二弹簧的另一端固定安装在第三凹槽的内壁上，两个第二卡销的相互靠近的一侧固定安装有推杆的一端，推杆的另一端延伸至第一安装座的外侧。

优选的，两个第三凹槽相互远离的一侧内壁上开设有第二孔，且推杆与对应的第二孔滑动连接。

优选的，所述第一凹槽的底部内壁上开设有限位槽，第一卡销的底部固定安装有限位块，且限位块与限位槽的侧壁滑动连接。

优选的，所述限位块的底部滚动安装有第一滚珠，且第一滚珠与对应的限位槽滚动连接。

优选的，所述挡板的两侧均滚动安装有第二滚珠，且第二滚珠与对应的第二凹槽相适配。

优选的，两个拉杆相互远离的一端均固定安装有把手，且把手位于第一安装座的外侧。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果：