[实用新型]分子束外延系统的进样装置有效
| 申请号： | 201821025396.5 | 申请日： | 2018-06-29 |
| 公开（公告）号： | CN208594347U | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 陈意桥;陈超;赵曼曼 | 申请（专利权）人： | 苏州焜原光电有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B25/08 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 操作室 进样装置 过渡舱 衬底 分子束外延系统 操作口 进样室 本实用新型 电子元器件 抽气机构 换气机构 密闭空间 外延生长 可开关 隔开 进样 内门 室门 手套 外门 洁净 室内 保证 | ||
1.一种分子束外延系统的进样装置，其特征在于：包括与MBE进样室连接的操作室和设在所述操作室上的过渡舱；所述MBE进样室与所述操作室之间具有可开关的室门；所述操作室具有两个面向大气的操作口，所述操作口的内侧设有将操作室与大气隔开的手套，所述操作室上设有换气机构；所述过渡舱具有一个面向所述操作室内的内门和面向大气的外门，所述过渡舱上设有抽气机构。
2.根据权利要求1所述的进样装置，其特征在于：所述换气机构包括首末端都朝向操作室的循环管、设于循环管上的循环风机和净化器以及位于循环管出口的颗粒过滤器。
3.根据权利要求2所述的进样装置，其特征在于：所述操作室内设有水含量探头和氧含量探头，所述循环风机的启停通过水含量探头和氧含量探头的检测结果决定。
4.根据权利要求2所述的进样装置，其特征在于：所述抽气机构包括真空泵以及连接真空泵及过渡舱的抽气管。
5.根据权利要求4所述的进样装置，其特征在于：所述抽气管分出一个连通所述操作室的支路，在所述抽气管的分支位置设有一个双向开关。
6.根据权利要求5所述的进样装置，其特征在于：所述循环管上设有一个面向大气的进气支管，所述进气支管上设有进气阀，所述循环管与抽气管之间设有支管，所述支管上设有泄气阀。
7.根据权利要求6所述的进样装置，其特征在于：所述操作室内设有气压计，所述泄气阀和所述进气阀的开关受气压计的检测结果影响。
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