[实用新型]一种超净高纯氢氟酸的生产装置

权利要求书

1.一种超净高纯氢氟酸的生产装置，其特征在于：

包括氟化氢气体罐(1)、预热箱(2)、用于除去高沸点杂质的精馏设备(3)、用于除去低沸点杂质的蒸馏器(4)、用于收集低沸点杂质的杂质收集箱(5)、混合箱(6)、冷却箱(7)、微滤器(8)、成品箱(9)以及迂回设置的冷却管(71)；

所述预热箱(2)包括气罐(21)、以及水罐(22)；

所述水罐(22)套设于所述气罐(21)外侧壁；

所述气罐(21)的底部通过第一导管(10)与所述氟化氢气体罐(1)连通；

所述精馏设备(3)包括冷凝器(31)、精馏塔(32)以及精馏塔釜(33)；

所述冷凝器(31)固定于所述精馏塔(32)的顶部，且所述冷凝器(31)与所述精馏塔(32)连通；

所述精馏塔釜(33)顶部与所述精馏塔(32)底部连通；

所述气罐(21)的顶部通过第二导管(101)与所述精馏塔(32)的左侧壁连通；

所述冷凝器(31)通过第三导管(102)与所述蒸馏器(4)顶部连通；

所述蒸馏器(4)的底部通过第四导管(103)与所述杂质收集箱(5)连通；

所述蒸馏器(4)的左侧壁通过第五导管(104)与所述混合箱(6)的顶部连通；

所述冷却箱(7)内顶壁固定有第一旋转接头(11)；

所述第一旋转接头(11)通过第六导管(105)与所述混合箱(6)底部连通；

所述混合箱(6)与所述第一旋转接头(11)之间连接有第一控制阀(12)，且所述第一控制阀(12)固定在所述第六导管(105)上；

所述混合箱(6)右侧壁固定有酸浓度计(61)；

所述第一旋转接头(11)与所述冷却管(71)的上端连接；

所述冷却管(71)的下端贯穿所述冷却箱(7)底部延伸至所述冷却箱(7)的下方，且所述冷却管(71)的下端连接有第二旋转接头(13)；

所述第二旋转接头(13)通过第七导管(106)与所述微滤器(8)的输入端连通；

所述冷却管(71)套设有带轮(74)；

所述带轮(74)位于冷却箱(7)与所述第二旋转接头(13)之间；

所述冷却箱(7)右侧壁固定有第一电机(72)；

所述第一电机(72)的动力输出轴通过皮带(73)与所述带轮(74)活动连接；

所述微滤器(8)固定于所述成品箱(9)顶部，且所述微滤器(8)的输出端与所述成品箱(9)连通；

所述微滤器(8)与所述第二旋转接头(13)之间连接有流量计(81)，且所述流量计(81)固定在所述第七导管(106)上；

所述微滤器(8)内固定有滤膜(82)；

还包括循环导热管(14)以及第一循环水管(15)；

所述循环导热管(14)的一端与所述冷却箱(7)的左侧壁连通；

所述循环导热管(14)的另一端与水罐(22)的左侧壁连通；

所述循环导热管(14)上连接有循环水泵(141)以及第二控制阀(121)；

所述水罐(22)顶部通过所述第一循环水管(15)与所述冷却箱(7)的右侧壁连通；

所述冷却箱(7)右侧壁开设有进水端口(151)，且所述进水端口(151) 凸出于所述冷却箱(7)右侧壁。

2.如权利要求1所述的一种超净高纯氢氟酸的生产装置，其特征在于：

所述水罐(22)外侧壁固定有保温层(221)。

3.如权利要求1所述的一种超净高纯氢氟酸的生产装置，其特征在于：

还包括用于提高氟化氢气体溶水效率的搅拌机构(16)；

所述搅拌机构(16)包括第二电机(161)、旋转轴(162)以及位于所述混合箱(6)内的叶片(163)；

所述旋转轴(162)竖直贯穿所述混合箱(6)，且所述旋转轴(162)位于所述混合箱(6)外的一端与所述第二电机(161)的动力输出端固定连接；

所述旋转轴(162)位于所述混合箱(6)内的一端与所述叶片(163)固定连接。