[实用新型]一种台式退火炉出炉装置

说明书

本实用新型公开了一种台式退火炉出炉装置，包括上盖板和侧墙，所述上盖板的后方下部连接有侧墙，所述上盖板的左侧下方连接有背墙，所述上盖板的右侧下方连接有炉门，且上盖板的下方设置有喷口，所述喷口的下方设置有垫板，所述垫板的底部连接有轨道，所述轨道的侧面连接有退火箱，且轨道的底部连接有热处理垫铁，所述背墙的下方连接有底座，所述底座的正面左侧设置有插座，所述底座的四角连接有支腿，退火箱和轨道之间设置了滑轮组，两个滑轮卡在轨道内部，滑轮组通过连接块与退火箱固定连接，推动或回拉退火箱，滑轮就能在轨道内部移动，使用滑轮移动的方式能减少很大的摩擦力，保护了轨道不被破坏，而且操作时省力。

技术领域

本实用新型属于退火炉相关技术领域，具体涉及一种台式退火炉出炉装置。

背景技术

退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理。退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。退火炉是节能型周期式作业炉，超节能结构，采用纤维结构，节电60％。

现有的退火炉出炉装置大多数都是使用轨道进行推拉，取出时通过滑块或杠杆从退火炉中出来，这种方式比较费力，且滑块经过长时间摩擦就会松动，需要经常更换，增加企业的制造成本，还降低了生产率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种台式退火炉出炉装置，以解决上述背景技术中提出的滑块易磨损问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种台式退火炉出炉装置，包括上盖板和侧墙，所述上盖板的后方下部连接有侧墙，所述侧墙共设置两面，且两面所述侧墙互相平行，所述上盖板的左侧下方连接有背墙，且上盖板与背墙焊接固定，所述上盖板的右侧下方连接有炉门，且上盖板的下方设置有喷口，所述喷口共设置有多个，且多个所述喷口连接在侧墙表面，所述喷口的下方设置有垫板，所述垫板的底部连接有轨道，所述轨道的侧面连接有退火箱，且轨道的底部连接有热处理垫铁，所述背墙的下方连接有底座，所述底座的正面左侧设置有插座，所述底座的四角连接有支腿。

优选的，所述退火箱包括上层移动板、下层板和退火室，所述上层移动板的底部设置有退火室，所述退火室的底部设置有下层板,所述退火箱的两侧连接在两个轨道的内部，且退火箱被两侧的热处理垫铁支撑。

优选的，所述轨道包括滑轨和滑轮组，所述滑轨的内部设置有滑轮组，所述滑轮组共设置有多个，且多个所述滑轮组互相平行。

优选的，所述滑轮组包括轮杆、固定螺钉、底块、滑轮和连接块，所述轮杆的一端设置有固定螺钉，且轮杆的一端底部连接有底块，所述轮杆的中部设置有滑轮，所述滑轮共设置有两个，且两个所述滑轮互相平行，所述轮杆的后部连接有连接块。

优选的，所述垫板、轨道和热处理垫铁共设置有两个，且垫板、轨道和热处理垫铁分别连接在两个侧墙的表面。

优选的，所述上层移动板与下层板之间的空间组成退火室，且退火室的内部分成多个工件块。

优选的，所述底块被固定螺钉连接在轮杆两端的底部，所述底块的形状呈倒置半球形，且两个所述底块与两个滑轮互相平行。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种台式退火炉出炉装置，具备以下有益效果：

1、本实用新型出炉装置在退火箱和轨道之间设置了滑轮组，两个滑轮卡在轨道内部，滑轮组通过连接块与退火箱固定连接，通过推动或回拉退火箱，滑轮就能在轨道内部来回移动，使用滑轮移动的方式推拉能减少很大的摩擦力，保护了轨道不被破坏，而且操作时省力。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制，在附图中：

图1为本实用新型提出的一种台式退火炉出炉装置结构示意图；