[实用新型]晶片测试变角位台

说明书

晶片测试变角位台，包括X射线定向仪部分、基准板工作台部分、两个微调机构和V型定位槽位置调整部分。X射线定向仪部分包括射线光闸和测角仪。测角仪主轴上设置角位台。角位台上固定设置L型的贴片板座的横向部分，L型的贴片板座的竖向部分固定支撑横向设置的基准板。基准板的左侧前后分别设有前后相对设置的两个微调机构。基准板的右侧上表面设有V型定位槽位置调整部分。螺旋测微仪推动V型块的V型尖端卡紧或松开测试晶片。微调机构的调整杆旋转带动限位轴卡紧或松开测试晶片。角位台为板状或为电动角位台。结构简单、复检测试时间短、操作简便、使用加方便。

技术领域

本实用新型属于晶体测试及加工领域单晶晶体晶片圆柱面方向的角度偏差复检测试流程中，各种直径单晶晶体晶柱加工成晶片前，根据单晶晶体晶片不同的用途，加工出晶片的相同单晶晶体晶柱或不同单晶晶体晶柱，有各自需要的圆柱面方向，需要在X射线定向仪上找出单晶晶体晶柱的圆柱面需要的方向，并在找出的定位方向上开定位槽，利用定位槽作为参照，在线切割机上将单晶晶体晶柱切割加工成晶片，由于定位槽在加工及定向过程中可能出现定位方向上的角度偏差，配合X射线定向仪的晶片测试变角位台，就是用于加工后的晶片定位角度偏差复检测试。

背景技术

大型飞机的发动机被誉为航空工业皇冠上的“宝石”，制造过程中通常采用碳化钨单晶晶体做关键部位的材料，碳化钨单晶晶体也是硬质合金切割刀具的主要原料，半导体芯片的基材是单晶硅单晶晶体材料，LED的衬底、新型显示面板、航天火箭整流罩等是蓝宝石单晶晶体材料，相同单晶晶体或不同单晶晶体根据用途不同，选用的晶体方向不同，对定位方向的精度要求也不同，加工成成品单晶晶体晶片，需要满足规定的晶向定位角度精度要求。

过去由于没有专门的晶片测试变角位台，传统的单晶晶体晶片圆柱面方向的定位角度偏差复检测试，采用的是在X射线定向仪样品台上进行的，复检测试时间长、操作复杂、复检测试精度低，满足不了精度要求高的单晶晶体晶片圆柱面方向定位角度偏差复检测试的需要，本实用新型涉及单晶晶体晶片测试变角位台。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供晶片测试变角位台，本实用新型具有结构简单、使用方便的优点。

采用的技术方案是：

晶片测试变角位台，包括X射线定向仪部分、基准板工作台部分、两个微调机构和V型定位槽位置调整部分。

其技术要点在于：

X射线定向仪部分包括射线光闸和测角仪。

测角仪主轴上设置角位台。

角位台上输出转动部固定设置L型的贴片板座的横向部分，L型的贴片板座的竖向部分固定支撑横向设置的基准板。

基准板工作台部分包括基准板。

基准板的左侧前后分别设有前后相对设置的两个微调机构。

基准板的右侧上表面设有V型定位槽位置调整部分。

螺旋测微仪推动V型块的V型尖端卡紧或松开测试晶片。

每个微调机构的调整杆旋转带动限位轴卡紧或松开测试晶片。

所述的角位台为板状或为电动角位台。

其优点在于：

结构简单、复检测试时间短、操作简便、复检测试精度高，解决了单晶晶体晶片圆柱面方向的定位角度偏差复检测试检测精度低、检测漏检率高、角度及晶向测量操作繁琐的难题，可以配合多种定向仪器使用，具有使用更加方便、快捷，复检测试单晶晶体晶片圆柱面方向的定位角度偏差精度高等优点，可以配合多种定向仪器使用。

附图说明

图1 为实施例1晶片测试变角位台主视图。

图2 为晶片测试变角位台俯视图。