[实用新型]脉冲激光沉积设备的水冷循环装置及脉冲激光沉积系统

权利要求书

1.一种脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，其特征在于，包括设置在脉冲激光沉积设备外壳上的第一水冷管以及水冷机，所述第一水冷管的端口与所述水冷机的第一端口密封连接，所述水冷机用于向所述第一水冷管循环输出水冷液。

2.根据权利要求1所述的脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，其特征在于，还包括分子泵以及设置在所述分子泵外壳上的第二水冷管，所述第二水冷管的端口与所述水冷机的第二端口密封连接，所述水冷机用于向所述第二水冷管循环输出水冷液。

3.根据权利要求1或2所述的脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，其特征在于，还包括设置在所述脉冲激光沉积设备内腔的温度传感器，所述水冷机用于根据所述温度传感器检测到的温度数据自动开机和关机。

4.根据权利要求3所述的脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，其特征在于，还包括设置在所述脉冲激光沉积设备外壳上的显示模块，用于显示所述温度传感器检测到的温度数据。

5.根据权利要求4所述的脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，其特征在于，所述显示模块为LCD屏、LED屏或OLED屏。

6.根据权利要求1或2所述的脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，其特征在于，还包括设置在所述脉冲激光沉积设备内腔的温度传感器，所述水冷机用于根据所述温度传感器检测到的温度数据自动调整水冷液的流速和温度，以保持所述脉冲激光沉积设备内腔温度在预设范围。

7.根据权利要求3所述的脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，其特征在于，还包括设置在所述脉冲激光沉积设备外壳上的提示模块，用于当所述温度传感器检测到的实时温度数据超过预设温度值时进行提示。

8.根据权利要求7所述的脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，其特征在于，所述提示装置为指示灯、显示屏或警报器。

9.根据权利要求1所述的脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，其特征在于，所述第一水冷管在所述脉冲激光沉积设备外壳侧面呈环形紧密分布、在所述冲激光沉积设备外壳顶面呈圆盘形紧密分布。

10.一种脉冲激光沉积系统，其特征在于，包括脉冲激光沉积设备以及如权利要求1至9任一项所述的脉冲激光沉积设备的水冷循环装置，所述脉冲激光沉积设备的水冷循环装置用于给所述脉冲激光沉积设备降温。