[实用新型]一种预防硅片倒片的装置

权利要求书

1.一种预防硅片倒片的装置，包括放置硅片的放置架，其特征在于，所述放置架包括两平行设置的竖直的挡板，两挡板的底侧固定连接有底部支撑部件，所述挡板之间固定有两根水平设置的保护栏杆，所述保护栏杆上活动套设有若干卡夹，所述卡夹的表面分别设有开口向上的卡槽，两保护栏杆对应位置的各卡槽上分别卡固有隔挡板。

2.根据权利要求1所述的预防硅片倒片的装置，其特征在于，所述挡板上固定保护栏杆的位置分别设有两道圆弧滑道，所述保护栏杆从圆弧滑道伸出挡板的外端设有外螺纹，所述保护栏杆和挡板通过螺母固定。

3.根据权利要求1或2所述的预防硅片倒片的装置，其特征在于，所述支撑部件包括两根固定于挡板底端边缘外侧的下层固定杆和下层固定杆之间用于支撑硅片的支撑杆。

4.根据权利要求1或2所述的预防硅片倒片的装置，其特征在于，两挡板顶端边缘的两侧还连接有上层固定杆，所述上层固定杆与挡板连接处对应的放置架四角处还设有拉起部件。

5.根据权利要求1所述的预防硅片倒片的装置，其特征在于，所述卡夹的下表面设有通孔，所述卡夹和保护栏杆通过螺栓顶紧固定。