[实用新型]一种扩散炉的尾气处理装置

说明书

本实用新型公开一种扩散炉的尾气处理装置，包括冷却板、至少一过滤器、冷却管、洗气装置；扩散炉尾气依次经过冷却管、过滤器、洗气装置后进入尾排装置；所述冷却管置于冷却板上，冷却板用于冷却经过冷却管的尾气；所述洗气装置内置有洗气溶液。扩散炉的尾气经过本实用新型的尾气处理装置后可将绝大部分的固体杂质(氧化硼或者氧化磷等)除去，减少固体杂质(氧化硼或者氧化磷等)对管道堵塞的影响，维护部件少，维护时间短。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种扩散炉的尾气处理装置。

背景技术

太阳能是最清洁、最具有潜力的无尽能源。晶硅太阳能电池已被大规模应用于各个领域，良好的稳定性、较高的光电转换效率和不断进步的工艺是其高速发展的基础，提高效率是国内外技术领域研究的共同目标。随着工艺技术的发展，N型晶硅电池以其效率高，性价比高的优势，越来越受到市场的重视。其中，硼扩散工序是太阳能电池生产过程中重要的环节，保证硼扩散的工艺稳定性和降低工序的生产成本是研究的重点。

目前，硼扩散设备大多数选用液态溴化硼为源，通过氮气带出溴化硼进入炉体；尾气需冷却除去液态的未反应源，残留物经过真空泵抽排至尾排装置排出。

常规的溴化硼尾气处理可除去尾气中的绝大数溴化硼，但仍有少量残留物氧化硼会随着真空抽排进入管道、泵体后再进入尾排管道。这些管道中会逐渐积攒氧化硼颗粒，一段时间后就会产生堵塞。目前泵体的维护周期很短，需要经常停机维护清洁保养；而且常规硼扩散尾排清理，大约一个月需拆卸泵进行清理维护，每次需几个小时至半天时间，占用较多生产时间。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种扩散炉的尾气处理装置，既可以用于磷扩散，也可以用于硼扩散。扩散炉的尾气经过该装置后可将绝大部分的氧化硼或者氧化磷除去，减少氧化硼或者氧化磷对管道堵塞的影响，维护部件少，维护时间短。

为实现上述目的，采用以下技术方案：

一种扩散炉的尾气处理装置，包括冷却板、至少一过滤器、冷却管、洗气装置；扩散炉尾气依次经过冷却管、过滤器、洗气装置后进入尾排装置；所述冷却管置于冷却板上，冷却板用于冷却经过冷却管的尾气；所述洗气装置内置有洗气溶液。

较佳地，所述尾气处理装置还包括泵体；所述泵体两端各经一管道分别与过滤器、洗气装置连接，泵体用于将尾气从冷却板一侧抽向洗气装置一侧。

较佳地，所述过滤器设置为两个，分别为第一过滤器、第二过滤器；所述第一过滤器两端各经一管道分别与冷却管、第二过滤器连接，其中冷却管与第一过滤器一端的管道经连接头可拆卸式连接。

较佳地，所述第一过滤器内设有第一滤芯，第二过滤器内设有第二滤芯；所述第一滤芯的孔径大于第二滤芯的孔径。

较佳地，所述冷却板内设有若干通水管道，用于通水后对冷却管内的尾气冷却。

较佳地，所述洗气装置的顶部设有洗气溶液进水阀，下部侧面设有洗气溶液的出水阀。

较佳地，所述洗气装置还设有尾气排出口，尾气排出口经管道连接至尾排装置。

较佳地，所述冷却板、过滤器、冷却管、洗气装置、泵体及所有管道均采用耐酸腐蚀材料。

采用上述方案，本实用新型的有益效果是：

1)冷却管能吸附尾气中的一部分固体颗粒(氧化硼或氧化磷等)，同时在冷却板的作用下降低进入过滤器的尾气温度；

2)两级过滤器过滤，能减少尾气中的大部分氧化硼或者氧化磷，减少氧化硼或者氧化磷对管道堵塞的影响；

3)维护部件少，只需根据软件提醒或定期更换冷却石英管、滤芯；

4)维护时间短，在舟进出时就能更换维护，几乎不影响正常生产。