[实用新型]一种X光束线半导体位置灵敏探测器

说明书

本实用新型提供了一种X光束线半导体位置灵敏探测器，包括壳体、面板、吸收片插槽板、信号插座、100μ厚铍片、铍膜压板、固定螺钉、PSD探测元件；其中，面板内面置于壳体中，PSD探测元件固定于面板内面，壳体两侧设有信号插座槽，信号插座通过信号插座槽插入壳体，PSD探测元件的三个引脚焊接于信号插座，100μ厚铍片置于面板上，铍膜压板置于铍片上，吸收片插槽板置于铍膜压板上，吸收片插槽板、铍膜压板、铍片、面板通过固定螺钉与壳体固定。本实用新型工作于可见光照的环境，用于探测X光束线的一维空间位置及X光的强度，屏蔽可见光的干扰，提高探测灵敏度，结构简单，性能稳定可靠。

技术领域

本实用新型属于半导体探测器技术领域，尤其是涉及一种X光束线半导体位置灵敏探测器。

背景技术

半导体位置灵敏探测器(PSD)是由日本滨松公司开发的一种新型半导体器件，用于探测可见光光束在一维或二维方向的位置。不同于传统的点阵结构的位置探测元件，如CCD。PSD的结构原理(参见图1)是在条型的P-I-N 半导体表面均匀覆盖一层电阻材料层，条型的两端各安装一个引出电极，当光束入射到条型的某一点时，该点产生信号电流，电流通过表面电阻层流向两端，根据欧姆定律，入射点到两端的距离与到两端的电阻成比例，则在两端引出电极得到的信号电流则与距离反比，设两端引出电极的电流为I₁及 I₂，条型总长度为L，光束入射点到条型中点的距离为X，则有：X＝2/L·(I₁ -I₂/I₁+I₂)。据此，根据两端引出电极的电流I₁及I₂值即可得到光束入射点的位置，此外，由I₁+I₂即可得到该光束的强度。

点阵结构的位置探测元件如CCD，其探测位置分辨率是由其点阵元的尺寸决定，而PSD探测位置分辨率是由I₁及I₂连续量决定，理论无上限，其探测位置分辨率仅受限于元件本身及后续探测电路的噪声。PSD与配套数据处理器连接即可构成完整的位置灵敏探系统，其价格与CCD点阵结构的位置探测系统比较低几个数量级。

PSD构成的位置灵敏探系统用于探测可见光束的位置，但无法探测X射线束的位置，在相关的科学实验中，特别是同步辐射实验中，探测X射线束的位置是十分必要的手段。

发明内容

有鉴于此，本实用新型旨在提出一种X光束线半导体位置灵敏探测器，使该探测器仅接受X射线而完全屏蔽了可见光，提高探测灵敏度，减少成本。

为达到上述目的，本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种X光束线半导体位置灵敏探测器，包括壳体、面板、吸收片插槽板、信号插座、100μ厚铍片、铍膜压板、固定螺钉、PSD探测元件；其中，面板内面置于壳体中，PSD探测元件固定于面板内面，用于探测可见光束线位置，壳体两侧设有信号插座槽，信号插座通过信号插座槽插入壳体，PSD探测元件的三个引脚焊接于信号插座，100μ厚铍片置于面板上，铍膜压板置于铍片上，吸收片插槽板置于铍膜压板上，吸收片插槽板、铍膜压板、铍片、面板通过固定螺钉与壳体固定。

进一步的，所述PSD探测元件采用滨松S3270PSD探测元件，探测范围 37mm。

进一步的，所述面板外面槽中放置O型密封圈。

进一步的，所述100μ厚铍片作为窗口膜，使X光束可入射到半导体一维位置灵敏探测元件的敏感区，而可见光不能进入。

进一步的，所述吸收片插槽板用于插吸收片，当光强度超出使探测器饱和时使用吸收片降低进入的光强。

进一步的，所述位置灵敏探测器还包括与其连接的控制器。

相对于现有技术，本实用新型所述的一种X光束线半导体位置灵敏探测器具有以下优势：