[实用新型]一种光盘生产线溅镀机专用靶材有效
| 申请号： | 201821042258.8 | 申请日： | 2018-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN208617970U | 公开（公告）日： | 2019-03-19 |
| 发明（设计）人： | 孙伟华 | 申请（专利权）人： | 南京迪纳科材料发展股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 高志军 |
| 地址： | 210000 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材 靶管 靶杆 光盘生产线 溅镀机 溅射 靶材利用率 本实用新型 材料成本 厚度一致 接触连接 两端位置 人力成本 时间周期 使用寿命 螺纹孔 消耗 | ||
【权利要求书】：
1.一种光盘生产线溅镀机专用靶材，其结构包括靶管(1)、靶杆(2)和靶管凹槽(4)，其特征在于：所述靶管(1)中部设有靶管凹槽(4)，所述靶管(1)内部设有靶杆(2)，所述靶杆(2)两端设有螺纹孔(3)，所述靶杆(2)与靶管(1)接触连接。
2.根据权利要求1所述的一种光盘生产线溅镀机专用靶材，其特征在于：所述靶管(1)材料为硅、钛、铬、锆、镍、铜、铝、钛合金、钛硅合金、钛锆合金、铜镍合金或镍铬合金。
3.根据权利要求1所述的一种光盘生产线溅镀机专用靶材，其特征在于：所述靶管(1)两端厚度一致，所述靶管凹槽(4)低于靶管(1)两端高度。
4.根据权利要求1所述的一种光盘生产线溅镀机专用靶材，其特征在于：所述靶杆(2)材料为铜、铜合金、铝、铝合金、钛、钛合金、钼、钼合金或不锈钢。
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