[实用新型]一种钙钛矿光吸收薄膜的制备装置有效
申请号: | 201821044830.4 | 申请日: | 2018-07-03 |
公开(公告)号: | CN208460805U | 公开(公告)日: | 2019-02-01 |
发明(设计)人: | 姜辛;王立鹏;邱建航;王高翔;邰凯平;刘鲁生 | 申请(专利权)人: | 中国科学院金属研究所 |
主分类号: | H01L51/48 | 分类号: | H01L51/48 |
代理公司: | 沈阳优普达知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 21234 | 代理人: | 张志伟 |
地址: | 110016 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 旋涂机 导管 钙钛矿 吸放装置 连续式 旋涂液 薄膜 本实用新型 前驱物溶液 制备装置 盖板 反极性 光吸收 滑动式 样品台 连通 太阳能电池制备 钙钛矿薄膜 制备钙钛矿 连续制备 定位孔 基板 手套 旋涂 穿过 制作 | ||
本实用新型涉及太阳能电池制备技术领域,尤其是一种钙钛矿光吸收薄膜的制备装置。该装置一个连续式旋涂液吸放装置一端导管伸至钙钛矿前驱物溶液罐内、与钙钛矿前驱物溶液连通,该装置另一端导管伸至旋涂机内、与旋涂机的样品台相对应;另一个连续式旋涂液吸放装置一端导管伸至反极性溶液罐内、与反极性溶液连通,该装置另一端导管伸至旋涂机内、与旋涂机的样品台相对应,旋涂基板置于样品台上;滑动式旋涂机盖板设置于旋涂机顶部,所述连续式旋涂液吸放装置的导管分别穿过滑动式旋涂机盖板上的导管定位孔伸至旋涂机内。本实用新型结构简单、成本低廉,制作与使用方便,尤其适用于在手套箱内制备钙钛矿薄膜,可实现钙钛矿薄膜的连续制备。
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池制备技术领域,尤其是一种钙钛矿光吸收薄膜的制备装置。
背景技术
随着传统能源的消耗及环境污染的加剧,人们对可再生清洁能源的需求越来越迫切。太阳能作为一种清洁能源,具有总量大、易于获取等优势。对于各种太阳能利用技术,将太阳能转化为电能的光伏发电技术一直是人们关注的重点。然而,传统硅基光伏电池制备成本相对较高,硅材料生产过程污染严重,限制其应用。薄膜光伏电池尤其是钙钛矿太阳能电池,以低廉的成本及简易的制备工艺逐渐引起人们的重视。
钙钛矿太阳能电池组件主要包括透明导电电极、电子传输层、钙钛矿光吸收层、空穴传输层及对电极等,在钙钛矿太阳能电池制备过程中,由于钙钛矿光吸收材料对水和氧气敏感,通常需要在惰性气氛手套箱内操作,工艺流程较为复杂,所制备钙钛矿光吸收薄膜的良品率处于较低范围。
实用新型内容
针对现有钙钛矿薄膜制备技术中的不足,本实用新型的目的在于提供一种操作简便的钙钛矿光吸收薄膜制备装置,从而简化薄膜的制备流程,提高工作效率。
本实用新型的技术方案是:
一种钙钛矿光吸收薄膜的制备装置,包括连续式旋涂液吸放装置、滑动式旋涂机盖板以及旋涂机,具体结构如下:
一个连续式旋涂液吸放装置一端导管伸至钙钛矿前驱物溶液罐内、与钙钛矿前驱物溶液连通,该装置另一端导管伸至旋涂机内、与旋涂机的样品台相对应;另一个连续式旋涂液吸放装置一端导管伸至反极性溶液罐内、与反极性溶液连通,该装置另一端导管伸至旋涂机内、与旋涂机的样品台相对应,旋涂基板置于样品台上;
滑动式旋涂机盖板设置于旋涂机顶部,所述连续式旋涂液吸放装置的导管分别穿过滑动式旋涂机盖板上的导管定位孔伸至旋涂机内。
所述的钙钛矿光吸收薄膜的制备装置,连续式旋涂液吸放装替换为连续式注射器或连续式注射泵。
所述的钙钛矿光吸收薄膜的制备装置,滑动式旋涂机盖板包括盖板主体、取样孔、滑块、导管定位孔,盖板主体上开有取样孔,盖板主体上设有滑块,滑块上开有导管定位孔,导管穿过导管定位孔伸至旋涂机内,导管定位孔分别为:钙钛矿前驱物溶液孔和反极性溶液孔,旋涂基板通过取样孔置于样品台上。
所述的钙钛矿光吸收薄膜的制备装置,连续式旋涂液吸放装置包括三通阀门、导管、注射器,三通阀门与注射器连通,三通阀门的两端分别安装导管,其中:一个三通阀门一端导管伸至钙钛矿前驱物溶液罐内、与钙钛矿前驱物溶液连通,该三通阀门另一端导管伸至旋涂机内、与旋涂机样品台相对应;另一个三通阀门一端导管伸至反极性溶液罐内、与反极性溶液连通,该三通阀门另一端导管伸至旋涂机内、与旋涂机样品台相对应。
所述的钙钛矿光吸收薄膜的制备装置,还包括保护胶带定位装置,保护胶带定位装置设有定位销及多孔定位板,多孔定位板上开设定位销孔和基板定位孔,两个定位销孔分别开设于多孔定位板的两端,基板定位孔开设于两个定位销孔之间,定位销插装于定位销孔内,基板置于基板定位孔内。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的;具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择