[实用新型]一种捕捉多余电子的装置有效
申请号: | 201821047214.4 | 申请日: | 2018-07-03 |
公开(公告)号: | CN208738176U | 公开(公告)日: | 2019-04-12 |
发明(设计)人: | 高富堂 | 申请(专利权)人: | 定西中庆玄和玻璃科技有限公司 |
主分类号: | H01J37/34 | 分类号: | H01J37/34 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 743000 甘肃省定*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 整流器 固定板 气体分子碰撞 导电棒 体内 针式 本实用新型 固定装置 捕捉 导出管 连接头 镶嵌 产品合格率 工艺环境 平衡作用 腔体设备 有效抑制 导出腔 外侧面 稳定腔 放电 并置 腔体 穿过 外部 | ||
本实用新型公开了一种捕捉多余电子的装置,包括固定板、固定装置、针式导电棒、导出管、抑制整流器和连接头,所述固定板镶嵌于电子与气体分子碰撞腔体的外侧面,数根针式导电棒的一端穿过固定板并置入电子与气体分子碰撞腔体内,针式导电棒的另一端与抑制整流器相连;抑制整流器通过固定装置与固定板相连,导出管通过连接头与抑制整流器相连。使用时将本实用新型所述的捕捉多余电子的装置镶嵌于电子与气体分子碰撞腔体设备的外部,通过整流器分导出腔体,有效抑制了腔体内多余电子乱放电的现象,并且还起到稳定腔体内电压、电流的平衡作用,使腔体内的工艺环境抑制保持稳定,从而大幅提高产品合格率。
技术领域
本实用新型属于整流器技术领域,特别是涉及一种捕捉多余电子的整流器装置。
背景技术
在真空腔体环境下,通过电子与气体分子的碰撞,产生很多的离子与电子,多余出的电子会导致腔体内工艺环境不稳定,对靶材造成多余的冲击,造成的后果就是弧光不稳定,最终造成产品表面产生色差,市场现有设备都无法解决此类问题。
因此,如何解决上述现有技术存在的缺陷成为了该领域技术人员努力的方向。
实用新型内容
本实用新型的目的就是提供一种捕捉多余电子的装置,使用时将本实用新型镶嵌于电子与气体分子碰撞腔体设备的外部,通过整流器分导出腔体,能完全解决上述现有技术的不足之处。
本实用新型的目的通过下述技术方案来实现:一种捕捉多余电子的装置,包括待导电的电子与气体分子碰撞腔体,其特征在于:还包括固定板、固定装置、针式导电棒、导出管、抑制整流器和连接头,所述固定板镶嵌于电子与气体分子碰撞腔体的外侧面,数根针式导电棒的一端穿过固定板并置入电子与气体分子碰撞腔体内,针式导电棒的另一端与抑制整流器相连;抑制整流器通过固定装置与固定板相连,导出管通过连接头与抑制整流器相连。
作为其中的优选方式之一,在所述固定装置的上下部均设有提手。
作为其中的优选方式之一,所述固定装置通过活动螺栓与固定板相连。
作为其中的优选方式之一,所述固定板通过固定螺栓与电子与气体分子碰撞腔体相连。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果在于:使用时将本实用新型所述的捕捉多余电子的装置镶嵌于电子与气体分子碰撞腔体设备的外部,通过整流器分导出腔体,有效抑制了腔体内多余电子乱放电的现象,并且还起到稳定腔体内电压、电流的平衡作用,使腔体内的工艺环境抑制保持稳定,从而大幅提高产品合格率。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
下面结合具体实施例和附图对本实用新型作进一步的说明。
如图1所示,一种捕捉多余电子的装置,包括待导电的电子与气体分子碰撞腔体101、固定板1、固定装置2、针式导电棒、导出管3、抑制整流器4和连接头5。所述固定板1镶嵌于电子与气体分子碰撞腔体101的外侧面,并且所述固定板1通过固定螺栓7与电子与气体分子碰撞腔体101相连,使得安装更加的牢固。数根针式导电棒的一端穿过固定板1并置入电子与气体分子碰撞腔体内101,针式导电棒的另一端与抑制整流器4相连;针式导电棒在图1中未示出,为市场可购的产品,通常采用铜制。抑制整流器4通过固定装置2与固定板1相连,导出管3通过连接头5与抑制整流器4相连。抑制整流器采用350W的整流器。整流控制器是用于电磁吸盘充磁退磁用的控制器又称为电磁吸盘控制器,充退磁控制器或整流控制器,是针对电磁吸盘而进行制作的辅助设备。使工件剩磁在千分之一以下,并且有对机床起保护作用的辅助设备。对电磁盘的吸力进行精密调整,达到不同磁盘加工不同工件对磁力的要求。
在所述固定装置2的上下部均设有提手6。通过提手方便安装。
所述固定装置通过活动螺栓8与固定板1相连,方便安装和拆卸。
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