[实用新型]一种用于二氧化碳发泡机的联动机构

说明书

本实用新型公开了一种用于二氧化碳发泡机的联动机构，包括发泡室，所述发泡室的一侧通过支架设置有电机，所述电机的一端设置有第一旋转杆，所述第一旋转杆的一端贯穿电机的外侧表面到达电机的内部，所述第一旋转杆的另一端贯穿发泡室的侧面到达发泡室的内部，所述第一旋转杆的外侧表面通过插销设置有偏角齿轮，所述第一旋转杆的外侧表面设置有滚动轴承，所述第一旋转杆的一端顶端设置有咬合盘，所述咬合盘的侧面设置有通孔；发泡机新增了联动机构，在使用时能够通过一台电机设备控制多个发泡室的运行，能够使得多个发泡室并在一起运行，减少设备的占地面积，在生产时减少了设备成本投入，同时提升了经济效应。

技术领域

本实用新型属于发泡机技术领域，具体涉及一种用于二氧化碳发泡机的联动机构。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅芯片，由于其形状为圆形，故称为圆晶。目前的晶圆尺寸一般为8英寸晶圆，12英寸晶圆，目前的晶圆在生过程中会会用到二氧化碳发泡机，目前的发泡机在使用过程中一台设备需要一台电机，各个设备之间不能够联动，且各个设备分开放置占地面积大，生产过程中经济投入大，针对目前的发泡机使用过程中所暴露的问题，有必要对发泡机的结构进行重新改进并优化，为此我们提出一种用于二氧化碳发泡机的联动机构。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于二氧化碳发泡机的联动机构，以解决上述背景技术中提出的发泡机使用时各个设备之间不能够联动，生产设备的经济投入大的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于二氧化碳发泡机的联动机构，包括发泡室，所述发泡室的一侧通过支架设置有电机，所述电机的一端设置有第一旋转杆，所述第一旋转杆的一端贯穿电机的外侧表面到达电机的内部，所述第一旋转杆的另一端贯穿发泡室的侧面到达发泡室的内部，所述第一旋转杆的外侧表面通过插销设置有偏角齿轮B，所述第一旋转杆的外侧表面设置有滚动轴承，所述第一旋转杆的一端顶端设置有咬合盘，所述咬合盘的侧面设置有通孔，所述通孔的内部设置有第一固定螺栓，所述咬合盘的另一端设置有第二旋转杆，所述第二旋转杆通过咬合盘和第一固定螺栓与第一旋转杆连接固定, 所述第一旋转杆与第二旋转杆的下方均设置有发泡桨叶，所述发泡桨叶的内部设置有同步杆。

优选的，所述发泡室的侧面通过切割设置有限位槽，所述发泡室的侧面设置有滚动轴承，所述滚动轴承的侧表面设置有凹槽，所述凹槽的一侧设置有咬合棱边，所述咬合棱边设置在滚动轴承的侧面，所述咬合棱边与限位槽相咬合接触。

优选的，所述第一旋转杆的下方通过支架设置有偏角齿轮A，所述偏角齿轮B与偏角齿轮A的侧面相互啮合。

优选的，所述第二旋转杆的两端都设置有咬合盘，所述咬合盘的一侧表面均匀设置有咬合齿，且所述两个咬合盘对称安装。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）发泡机新增了联动机构，在使用时能够通过一台电机设备控制多个发泡室的运行，能够使得多个发泡室并在一起运行，减少设备的占地面积，在生产时减少了设备成本投入，同时提升了经济效应。

（2）发泡机的联动机构的滚动轴承增加了固定用结构，便于设备的固定，同时在需要变更联动机构时便于工作人员的操作，在保持结构稳定的同时提升了工作人员的劳动效率。

附图说明

图1为本实用新型的内部结构示意图；

图2为本实用新型的连接盘结构示意图；

图3为本实用新型的滚动轴承结构示意图；

图4为本实用新型的滚动轴承截面结构示意图；

图5为本实用新型的滚动轴承咬合圈结构示意图；

图6为本实用新型的滚动轴承外圈固定结构示意图；